1.一种无损测量薄膜的探针，其特征在于，

导电针体；

导电弹性针头，导电弹性针头与导电针体的一端连接，且导电弹性针头与导电针体之间能够导电，以使导电弹性针头与薄膜接触时，导电弹性针头能够产生形变以防止破坏薄膜；

导电针体和导电弹性针头设置于感应收缩簧内，以保证探针无论以任何角度向薄膜靠近时感应收缩簧末端的感应端优先接触到薄膜。

2.根据权利要求1所述的一种无损测量薄膜的探针，其特征在于，具有固定环，固定环与导电针体的另一端连接且固定环与导电针体之间电绝缘。

3.根据权利要求2所述的一种无损测量薄膜的探针，其特征在于，感应收缩簧的一端设置于固定环上，感应收缩簧不仅能够被动收缩，还具有主动收缩功能。

4.根据权利要求1所述的一种无损测量薄膜的探针，其特征在于，感应收缩簧的末端为感应端，且超出导电弹性针头一定距离。

5.根据权利要求4所述的一种无损测量薄膜的探针，其特征在于，感应端至少包含接触传感器，用于监测感应收缩簧是否接触到薄膜。

6.根据权利要求3所述的一种无损测量薄膜的探针，其特征在于，感应端包含应力传感器，用于测试感应端5与薄膜的接触应力。

7.根据权利要求1所述的一种无损测量薄膜的探针，其特征在于，感应收缩簧为弹簧形状。

8.根据权利要求7所述的一种无损测量薄膜的探针，其特征在于，感应收缩簧为上大下小的弹簧形状，使感应端的截面积相对较小，满足小面积薄膜电极点的测量要求。

9.根据权利要求1所述的一种无损测量薄膜的探针，其特征在于，感应收缩簧的感应端截面为圆环，以减少对薄膜的接触损伤。

10.一种精准推进实现无损电学测量的测量仪器，其特征在于，包括：主机、计算机、测试台以及感应端感测信号接收器，控制器，还包括权利要求1-9任一所述的无损测量薄膜的探针；

控制器根据感应端的感测信号控制探针推进速度和/或感应收缩簧的收缩速度；

感应端感测信号接收器与感应收缩簧和控制器连接，感应端感测信号接收器通过感应收缩簧获取感应端的信号后，将信号传输到控制器，控制器根据信号控制探针的推进速度和/或感应收缩簧的收缩速度。