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专利号: 2020108252769
申请人: 杭州电子科技大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种光谱显微成像装置的实现方法,其特征在于,光谱显微成像装置包括:照明光源(1),载物台(2),显微物镜(3),视场光阑(4),4F中继透镜(5),闪耀光栅(6),带通滤波器(7),微透镜阵列(8)和灰度相机(9),且自左向右依次设置;所述的4F中继透镜(5)共有三组,分别设置在视场光阑(4)和闪耀光栅(6)之间、带通滤波器(7)和微透镜阵列(8)之间以及微透镜阵列(8)和灰度相机(9)之间;

照明光源(1)将载物台(2)上的观测物体照亮,显微物镜(3)的成像镜头将观测物体的实像成像在视场光阑(4)所在平面,经过4F中继透镜(5)映射在闪耀光栅(6)表面,此时,观测物体的实像与闪耀光栅(6)的刻线面重合;

映射在闪耀光栅(6)表面的观测物体的实像发生色散,带通滤波器(7)将闪耀光栅亮度最高的+1级中待记录的光谱波段单独通过,经过4F中继透镜(5)重新汇聚到微透镜阵列(8)上;然后在微透镜焦平面(10)上沿着一个维度发生色散,观测物体色散后的实像经过4F中继透镜(5)成像在灰度相机(9)的像素阵列上;

光谱显微成像装置的实现方法,包括如下步骤:

步骤一:照明光源(1)将载物台(2)上的观测物体照亮,显微物镜(3)的成像镜头将观测物体的实像成像在视场光阑(4)所在平面,经过4F中继透镜(5)映射在闪耀光栅(6)表面,此时,观测物体的实像与闪耀光栅(6)的刻线面重合;

步骤二:映射在闪耀光栅(6)表面的观测物体的实像发生色散,带通滤波器(7)将闪耀光栅亮度最高的+1级中待记录的光谱波段L1至Ln单独通过,经过4F中继透镜(5)重新汇聚到微透镜阵列(8)上;

步骤三:由于映射在闪耀光栅(6)表面的观测物体的实像存在色散角度,因此不同波长的光重新汇聚在微透镜阵列(8)上实像存在不同的出射角,并且在微透镜焦平面(10)上沿着一个维度发生色散,观测物体色散后的实像经过4F中继透镜(5)成像在灰度相机(9)的像素阵列上;

步骤四:微透镜阵列(8)中每一个微透镜对应灰度相机(9)的像素阵列中的一块子像素(11)区域,子像素(11)大小为N×N个像素,其中N为奇数,并且经过该微透镜的出射光会投射到子像素(11)的中间一行像素上,此时,将子像素(11)中中间一行对应位置的像素重新组合,组合方式为,将每个微透镜对应的子像素(11)中的第(N+1)/2行的第i个像素按照微透镜位置排序组合为第i张图像Ai,其中i=1,2……N,即可得到载物台(2)上观测物体在λi波长下对应的光谱图像Ai,其中λi=L1+(i‑0.5)×(Ln‑L1)/N;

子像素(11)大小为N×N个像素,其中N为奇数,且,3