1.一种晶圆抓取机械手,包括机械手固定板(10),其特征在于:所述机械手固定板(10)的右端中部成型有弧形槽(11),弧形槽(11)的左侧壁的中部成型有向左延伸的中心通槽(12),中心通槽(12)的前后两个内侧壁上均固定有中部导向槽(13),伸缩臂(20)插套在中心通槽(12)中,伸缩臂(20)的前后两个侧壁上成型有导向凸起条(21),导向凸起条(21)插套在对应的中部导向槽(13)中;
所述机械手固定板(10)的底面固定有无杆气缸(30),无杆气缸(30)的滑动块固定在伸缩臂(20)的左端底面上;
所述伸缩臂(20)的右侧壁上固定有抓取板(22),抓取板(22)的顶面的左部和右部均成型有向上延伸的弧形阻挡部(23),晶圆(100)放置在抓取板(22)上并处于两个弧形阻挡部(23)之间,晶圆(100)的左部处于弧形槽(11)中;
所述弧形槽(11)的内侧壁的下部固定有下水平支撑板(14),抓取板(22)处于下水平支撑板(14)的顶面上方,抓取板(22)的底面靠近下水平支撑板(14)的顶面;
所述下水平支撑板(14)的底面固定有多个推动气缸(15),推动气缸(15)的推杆插套在下水平支撑板(14)上具有的导向通孔(141)中,推动气缸(15)的推杆的上部插套在抓取板(22)的中部成型有的上通孔(221)中,推动气缸(15)的推杆的顶端对着晶圆(100);
所述推动气缸(15)的推杆的顶端固定有弹性块(1);
所述弧形阻挡部(23)的内侧壁的下部成型有底部延伸凸起部(231),晶圆(100)的边部压靠在底部延伸凸起部(231)的顶面上;
通过无杆气缸(30)的滑动块推动,将伸缩臂(20)向右移动,伸入抓取处,将晶圆(100)接收放置到底部延伸凸起部(231)的顶面上,并处于两个弧形阻挡部(23)之间,然后,通过无杆气缸(30)的滑动块回缩,将抓取板(22)回缩使得晶圆(100)的左部处于弧形槽(11)中,完成抓取;当其他机械手需要从此抓取板(22)取料时,通过所有推动气缸(15)的推杆推动,使得弹性块(1)提升,将晶圆(100)提升。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆抓取机械手,其特征在于:所述导向通孔(141)的内侧壁上固定有导向套(142),推动气缸(15)的推杆插套在导向套(142)中,推动气缸(15)的推杆的外侧壁紧贴导向套(142)的内侧壁。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆抓取机械手,其特征在于:所述机械手固定板(10)的左侧壁上固定有竖直连接板(2)。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆抓取机械手,其特征在于:所述中心通槽(12)的右端内侧壁成型有内凹槽(16),内凹槽(16)与弧形槽(11)相通,内凹槽(16)的内侧壁上成型有过渡导向槽(161),过渡导向槽(161)的左端与中部导向槽(13)相通,伸缩臂(20)的右端的前后两个侧壁成型有延伸部(24),延伸部(24)插套在内凹槽(16)中,延伸部(24)的外侧壁上成型有过渡凸起部(241),过渡凸起部(241)插套在过渡导向槽(161)中。