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专利号: 2020109696682
申请人: 泉芯集成电路制造(济南)有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 磨削;抛光
更新日期:2025-01-21
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种激光投影虚拟校正设备,其特征在于,包括:转动设置在一腔室内的研磨平台;

设置在所述研磨平台上以实现晶片研磨的研磨组件;

以及,设置在所述腔室的顶部和侧壁上的激光投影器;

其中,所述激光投影器用于向所述研磨平台发射激光,并在研磨平台上形成与预设图像信息相匹配的定位投影。

2.根据权利要求1所述的激光投影虚拟校正设备,其特征在于,所述激光投影器包括第一激光器和第二激光器,所述腔室的顶部设置有第一固定架,所述第一激光器设置在所述第一固定架上;所述腔室的侧壁设置有第二固定架,所述第二激光器设置在所述第二固定架上,所述第一激光器和所述第二激光器发射的激光在所述研磨平台上共同形成所述定位投影。

3.根据权利要求1所述的激光投影虚拟校正设备,其特征在于,所述定位投影为点投影、线投影或图形投影。

4.根据权利要求1所述的激光投影虚拟校正设备,其特征在于,所述研磨组件包括研磨液供给臂和研磨头,所述研磨液供给臂的出料口与所述研磨平台相对应,用于供应带有磨料的研磨液至所述研磨平台的表面;所述研磨头设置在所述研磨平台上,用于固持并旋转所述晶片,并使得所述晶片的表面与所述研磨液和所述研磨平台的表面相接触。

5.根据权利要求4所述的激光投影虚拟校正设备,其特征在于,所述研磨组件还包括钻石整理器,所述钻石整理器设置在所述研磨平台上,并与所述研磨头间隔设置,用于修整所述研磨平台,以提高所述研磨平台的表面粗糙度。

6.根据权利要求1所述的激光投影虚拟校正设备,其特征在于,所述研磨平台上设置有研磨垫,所述研磨组件设置在所述研磨垫上,所述激光投影器发射的激光在所述研磨垫上形成所述定位投影。

7.根据权利要求1所述的激光投影虚拟校正设备,其特征在于,所述激光投影器包括激光生成模块、图像接收模块和供电模块,所述图像接收模块与所述激光生成模块电连接,所述图像接收模块用于获取所述预设图像信息,所述激光生成模块用于依据所述预设图像信息向所述研磨平台发射激光,所述供电模块与所述激光生成模块电连接,用于向所述激光生成模块供电。

8.根据权利要求7所述的激光投影虚拟校正设备,其特征在于,所述供电模块上设置有充电接头,并内置有充电电池,所述充电电池与所述激光生成模块电连接。

9.根据权利要求7所述的激光投影虚拟校正设备,其特征在于,所述供电模块上开设有电池槽,所述电池槽内可拆卸地装配有干电池。

10.一种激光投影虚拟校正方法,适用于如权利要求1所述的激光投影虚拟校正设备,其特征在于,包括:

向所述研磨平台发射激光束,所述激光束在所述研磨平台上形成与预设图像信息相匹配的定位投影;

根据所述定位投影调节所述研磨组件在所述研磨平台上的设置位置。