1.一种EPMA检测高纯铝靶材酸洗后铟元素含量及分布区域的分析方法，包括以下步骤：步骤1、采用酸液对高纯铝试样进行酸洗；

步骤2、酸洗后高纯铝试样进行清洗并干燥；

步骤3、干燥后高纯铝试样进行镶嵌；

步骤4、镶嵌后高纯铝试样进行抛光处理；

步骤5、抛光后试样进行EPMA观察和检测，应用Mapping分析功能对铟元素的含量和分布进行分析。

2.根据权利要求1所述的EPMA检测高纯铝靶材酸洗后铟元素含量及分布区域的分析方法，其特征在于：所述步骤1中酸洗中使用到酸洗液由硝酸和水混合而成，硝酸和水的体积比为4-7：2—

5；

优选地，所述步骤1中酸洗中使用到酸洗液由硝酸和水混合而成，硝酸和水的体积比为

4-6：2—4；

进一步优选地，所述步骤1中酸洗中使用到酸洗液由硝酸和水混合而成，硝酸和水的体积比为4-5：2—3。

3.根据权利要求2所述的EPMA检测高纯铝靶材酸洗后铟元素含量及分布区域的分析方法，其特征在于：酸洗时间为20—50min，优选20—40min，进一步优选20—30min；

或/和,酸洗温度为20—50℃，优选20—40℃，进一步优选25—35℃。

4.根据权利要求2或3所述的EPMA检测高纯铝靶材酸洗后铟元素含量及分布区域的分析方法，其特征在于：所述步骤1中酸洗处于超声状态中进行，所述超声状态加快酸洗流程及酸洗效果。

5.根据权利要求4所述的EPMA检测高纯铝靶材酸洗后铟元素含量及分布区域的分析方法，其特征在于：所述超声状态使用的超声功率为150—300W，优选150—250W，进一步优选150—200W；

或/和,使用的超声电流为3—8A，优选3—7A，进一步优选3—5A。

6.根据权利要求1-5中任何一项所述的EPMA检测高纯铝靶材酸洗后铟元素含量及分布区域的分析方法，其特征在于：所述步骤2中清洗包括用水清洗3—5次；

或/和，所述步骤2中干燥温度为20—60℃，优选20—50℃，进一步优选20—30℃；

和/或，所述步骤2中干燥时间为2—6min，优选2—5min，进一步优选2—4min。

7.根据权利要求1-6中任何一项所述的EPMA检测高纯铝靶材酸洗后铟元素含量及分布区域的分析方法，其特征在于：所述步骤3中用砂轮锯将干燥后高纯铝试样切割成20—80mm长，20—60mm宽的待镶嵌试样；

切割完试样需用镶嵌机进行镶嵌，镶嵌温度在140—190℃区间，优选140—170℃，进一步优选150—170℃。

8.根据权利要7所述的EPMA检测高纯铝靶材酸洗后铟元素含量及分布区域的分析方法，其特征在于：对待镶嵌超高纯铝试样表面进行处理，使检测面平整。

9.根据权利要7所述的EPMA检测高纯铝靶材酸洗后铟元素含量及分布区域的分析方法，其特征在于：所述步骤4中先用砂纸进行粗抛，砂纸粒度从320—1500目，再用抛光膏在抛光布上进行精抛，将试样表面抛光成光亮表面，抛光膏粒度2.5—3.5目。

10.一种高纯铝靶材分析试样，其特征在于：所述高纯铝靶材分析试样依次经过酸洗、清洗、干燥、平整、镶嵌及抛光处理。