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专利号: 2020110840561
申请人: 杭州电子科技大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种沟道长度亚10 nm石墨烯TFET,其特征在于包括顶栅、底栅、栅氧化层、应变处理后石墨烯条带,其中栅氧化层分为顶部栅氧化层、底部栅氧化层,石墨烯条带设置在顶部栅氧化层、底部栅氧化层之间;石墨烯条带分为源区、漏区和沟道区,其中中间位置为沟道区,源区和漏区间隔分布在沟道区两侧;顶栅设置在顶部栅氧化层的上方,与沟道区位置相对应;底栅设置在底部栅氧化层的下方,与沟道区位置相对应;沟道长度为亚10 nm,即≤

10nm;

所述的应变处理后石墨烯条带为将石墨烯条带施加一定的应变力,使得石墨烯条带产生电流传输方向的应变,以增长或缩短石墨烯结构中的碳‑碳键,改变原子间的跃迁能;其中石墨烯条带产生电流传输方向的应变强度范围为‑1%~+7%;

所述的石墨烯条带是有带隙的单层石墨烯纳米条带。

2.如权利要求1所述的一种沟道长度亚10 nm石墨烯TFET,其特征在于所述的源区、漏区和沟道区的宽度相等。

3.如权利要求1所述的一种沟道长度亚10 nm石墨烯TFET,其特征在于所述的石墨烯条带为扶手椅型石墨烯纳米条带。

4.如权利要求1所述的一种沟道长度亚10 nm石墨烯TFET,其特征在于所述的栅氧化层采用SiO2材料。

5.如权利要求1所述的一种沟道长度亚10 nm石墨烯TFET,其特征在于石墨烯条带拉伸至应变为+4.5%,石墨烯条带沟道长度为7 nm。

6.一种提高沟道长度亚10 nm石墨烯TFET性能的方法,其特征在于对亚10 nm沟道长度石墨烯条带TFET的石墨烯条带施加一定的应变力,使得石墨烯条带产生电流传输方向的应变,以增长或缩短石墨烯结构中的碳‑碳键,改变原子间的跃迁能;其中石墨烯条带应变强度范围为‑1%~+7%;

所述的石墨烯条带是有带隙的单层石墨烯纳米条带。