1.一种氮化硅陶瓷烧结的前处理方法,其特征在于,包括以下步骤:在烧结容器中,将氮化硅坯体包埋入氮化硅粉体中,然后在氮化硅粉体表面覆盖盖板,之后在盖板上平铺二氧化硅粉;所述盖板为惰性耐火陶瓷板;所述惰性耐火陶瓷板为氮化硅盖板。
2.根据权利要求1所述的氮化硅陶瓷烧结的前处理方法,其特征在于,所述氮化硅粉的颗粒粒径为0.3 2μm。
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3.根据权利要求1所述的氮化硅陶瓷烧结的前处理方法,其特征在于,二氧化硅粉的颗粒粒径为10 100μm。
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4.根据权利要求1所述的氮化硅陶瓷烧结的前处理方法,其特征在于,所述氮化硅坯体四周氮化硅粉体的包埋厚度大于2cm。
5.根据权利要求1所述的氮化硅陶瓷烧结的前处理方法,其特征在于,平铺二氧化硅粉后,在烧结容器开口部覆盖盖体。
6.根据权利要求1 4任一项所述的氮化硅陶瓷烧结的前处理方法,其特征在于,所述二~氧化硅粉的平铺高度大于5cm且低于烧结容器开口部。
7.一种氮化硅陶瓷的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:(a)制备氮化硅陶瓷坯体;
(b)前处理:在烧结容器中,将氮化硅坯体包埋入氮化硅粉体中,然后在氮化硅粉体表面覆盖盖板,之后在盖板上平铺二氧化硅粉;所述盖板为惰性耐火陶瓷板;
(c)将烧结容器开口部覆盖盖体形成烧结体系,然后将烧结体系置于空气气氛中烧结;
所述惰性耐火陶瓷板为氮化硅盖板。
8.根据权利要求7所述的氮化硅陶瓷的制备方法,其特征在于,所述氮化硅陶瓷坯体由以下质量百分比的原料制成:氮化硅 80 90%,氧化镁5 9%,氟化锂 1 3%,稀土氧化物 4~ ~ ~ ~
8%。
9.根据权利要求8所述的氮化硅陶瓷的制备方法,其特征在于,所述稀土氧化物为Y2O3、Yb2O3、Sm2O3、Sc2O3、La2O3、CeO2、Nd2O3中的一种。
10.根据权利要求7 9任一项所述的氮化硅陶瓷的制备方法,其特征在于,所述烧结的~温度为1500 1650℃,时间为2 15h。
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