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专利号: 2020111645759
申请人: 燕山大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2024-02-23
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种高长径比Si纳米线的制备方法,所述Si纳米线的长度达到0.5~1cm,不含其他6

杂质,长径比大于10,其特征在于,其包括以下工序:原料纯Si粉放置工序,将纯Si粉平铺于载物舟底,载物舟上方盖石墨片封口,将坩埚舟放入到真空管式炉的石英管中,载物舟使用刚玉舟;所述原料纯Si粉的粒径尺寸为20nm~

45μm;

‑5

压力控制工序,将真空管式炉真空抽至低于2.5×10 mbar之后,在炉内通入还原性载流气体,将压力控制为m压力值,m取值在0.05MPa~0.1013Mpa之间;还原性载流气体为Ar和H2组成的混合气体,其中Ar的体积百分数为97%~99%,H2的体积百分数为1~3%;

升温工序,将真空管式炉从室温升温至t温度,t取值为1200~1300℃;

Si纳米线生长工序,保持温度t和压力m不变,维持1.5~4.5小时,进行Si纳米线生长;

以及

降温工序,将真空管式炉以低于5℃/min的降温速度从t温度缓慢降温至1000℃,再从

1000℃降温至室温,1000℃~300℃的降温速率为5℃/min;

由此获得生长于石墨片上的Si纳米线。

2.根据权利要求1中的高长径比Si纳米线的制备方法,其特征在于,其中,还包括石墨片和载物舟的清洗工序,对石墨片和载物舟,依次用丙酮、酒精、去离子水超声震荡清洗至完全去除其上的污垢,之后进行干燥。

3.根据权利要求1中的高长径比Si纳米线的制备方法,其特征在于,其中,升温工序,t取值为1230~1270℃。

4.根据权利要求1中的高长径比Si纳米线的制备方法,其特征在于,其中,Si纳米线生长工序,保持温度t和压力m不变,维持1.5~2.5小时。

5.根据权利要求1中的高长径比Si纳米线的制备方法,其特征在于,其中,在降温工序中,将真空管式炉以低于3℃/min的降温速度从t温度缓慢降温至1000℃。