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专利号: 2020111678748
申请人: 河南大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 晶体生长〔3〕
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种硒化锑晶体的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:(1)采用射频磁控溅射工艺在待制膜基底上制备非晶硒化锑预制层,非晶硒化锑预制层厚度500nm  2000nm,其中非晶硒化锑预制层中Sb:Se摩尔比=2:3;待制膜基底为SLG/Mo、~

SLG或SLG/FTO;非晶硒化锑预制层制备时的溅射功率为80w,溅射时间为50min 120min;

~

(2)将得到非晶硒化锑预制层置于双温区快速退火炉的一端,硒源置于另一端,并设置相应的升温程序,硒源为硒粉或者硒粒,预制层端升温程序具体设定为:C1:30,T1:50,C2:

300,T2:300,C3:300,T3:40,C4:400,T4:600‑900,C5:400,T5:终止程序,C表示温度,单位是℃,T表示时间,单位是秒;

硒源端的温程设定为:C1:30,T1:50,C2:400,T2:300,C3:400,T3:40,C4:480‑690,T4:

600‑900,C5:480‑690,T5:终止程序,C表示温度,单位是℃,T表示时间,单位是秒;载气为氩气,载气流量设定为100sccm,硒化气压设定为2 Torr 5Torr,待程序完全结束后,温度降至~

200℃以下时,打开快速退火炉炉盖,使其继续降温,当硒化锑薄膜端的热电偶温度显示为

100℃以下时,破真空,取出样品。

2.权利要求1所述的制备方法制得的硒化锑晶体。

3.权利要求2所述的硒化锑晶体在光电化学产氢中的应用。