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专利号: 2020111685224
申请人: 燕山大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2024-02-23
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种制备铬掺杂单层二硫化钨二维晶体的方法,其特征在于:以Cr、NaCl、WO3、S为原料,在多温区管式炉里面以Si/SiO2为基底,通过S单质对WO3及Cr同时硫化,采用化学气相沉积的方法制备得到Cr掺杂单层WS2二维晶体;制备方法为:将S单质用刚玉舟置于多温区管式炉的上游,上游温度为130‑210℃,将WO3、NaCl的混合物、Cr和Si/SiO2基底用刚玉舟置于多温区管式炉的下游,所述WO3和NaCl的混合物位于刚玉舟的前端,Si/SiO2基底位于刚玉舟的后端,Cr位于WO3和NaCl的混合物与Si/SiO2基底之间,且单独分开放置,下游温度为880‑

980℃,在氩气的保护下,多温区管式炉管内压强为50‑200Pa下,进行加热硫化反应。

2.根据权利要求1所述的一种制备铬掺杂单层二硫化钨二维晶体的方法,其特征在于:所述的氩气的流量为20‑50sccm。

3.根据权利要求1所述的一种制备铬掺杂单层二硫化钨二维晶体的方法,其特征在于:所述硫化反应的升温时间为30‑50min,反应时间为20‑50min。

4.根据权利要求1所述的一种制备铬掺杂单层二硫化钨二维晶体的方法,其特征在于:所述方法还包括硫化反应前对所用样品沉积基底Si/SiO2用丙酮进行超声清洗,后用乙醇清洗,最后用N2吹干。

5.根据权利要求1所述的一种制备铬掺杂单层二硫化钨二维晶体的方法,其特征在于:所述方法还包括在硫化反应之前,采用氩气对多温区管式炉及刚玉舟进行清洗。