欢迎来到知嘟嘟! 联系电话:13095918853 卖家免费入驻,海量在线求购! 卖家免费入驻,海量在线求购!
知嘟嘟
我要发布
联系电话:13095918853
知嘟嘟经纪人
收藏
专利号: 2020112095968
申请人: 杭州电子科技大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 晶体生长〔3〕
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
价格&联系人
年费信息
委托购买

摘要:

权利要求书:

1.一种特殊形貌二维硫化钼晶体材料的制备方法,特殊形貌为梯形、平行四边形、不规则四边形,其特征在于该方法包括以下步骤:将硫源、钼源、生长衬底采用限域空间化学气相沉积法,通过控制钼源与衬底之间空间使钼源与硫源蒸气反应,并在生长衬底上制备得到不同特殊形貌的二维MoS2薄片;生长衬底置于钼源的垂直上方位置,且衬底与钼源之间的垂直间距为0.8‑1.0毫米;

所述化学气相沉积法是在双温区水平管式炉中进行,按照气流方向依次设定为硫源区和沉积区两个温区,其中硫源区放置硫源,沉积区放置钼源、生长衬底。

2.如权利要求1所述的一种特殊形貌二维硫化钼晶体材料的制备方法,其特征在于双温区水平管式炉内先将衬底所在温区升温至预热温度,再加热硫源所在温区,使衬底和S源所在温区同时达到各自的预设温度;预热温度为670‑690℃,衬底所在温区的预设温度为

890‑910℃,硫源温区的预设温度为260‑280℃。

3.如权利要求2所述的一种特殊形貌二维硫化钼晶体材料的制备方法,其特征在于氩气的流量为80立方厘米/分钟。

4.如权利要求1所述的一种特殊形貌二维硫化钼晶体材料的制备方法,其特征在于硫源为粉末状升华硫,钼源为纳米级三氧化钼粉末,生长衬底为Si/SiO2的硅衬底。

5.如权利要求4所述的一种特殊形貌二维硫化钼晶体材料的制备方法,其特征在于三氧化钼粉末的粒径小于100纳米。

6.如权利要求1所述的一种特殊形貌二维硫化钼晶体材料的制备方法,其特征在于沉积反应时间为15‑20分钟;两个温区的间距为18‑22厘米。

7.如权利要求1所述的一种特殊形貌二维硫化钼晶体材料的制备方法,其特征在于生长衬底在放置石英舟前进行洗净烘干,具体是将Si/SiO2衬底在丙酮溶液中浸渍10~15分钟,再在乙醇溶液中超声清洗10‑15分钟,随后用去离子水冲洗3 5次,最后利用高纯氮气吹~

干备用。

8.如权利要求1所述的一种特殊形貌二维硫化钼晶体材料的制备方法,其特征在于不同特殊形貌的二维MoS2薄片厚度为多层。