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专利号: 2020112396382
申请人: 宁波工程学院
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2024-11-22
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种新型的扫描电子显微镜,包括机架(10),其特征在于:所述机架(10)内设置有试样板(9),所述试样板(9)的顶端安装有扫描发生器(8),所述扫描发生器8的一端设置有隔板(7),所述机架(10)的外侧设置有真空管(13),所述机架(10)的顶端安装有连接座(11),所述连接座(11)上设置有镜筒(2),所述镜筒(2)内设置有电子枪(1),所述机架(10)内设置有支架(6),所述机架(10)底端安装有减震支撑腿,所述减震支撑腿由上脚垫(1001)、橡胶柱(1002)和下脚垫(1003)组成,所述橡胶柱(1002)位于上脚垫(1001)和下脚垫(1003)之间,且橡胶柱(1002)中心处开设有通孔。

2.根据权利要求1所述的一种新型的扫描电子显微镜,其特征在于:所述镜筒(2)内设置有光闸架(3),所述光闸架(3)的底端安装有聚光镜(4),且聚光镜(4)位于镜筒(2)内的两端位置。

3.根据权利要求1所述的一种新型的扫描电子显微镜,其特征在于:所述机架(10)内设置有物镜光闸(5),所述物镜光闸(5)的两端安装有连接架(12),且连接架(12)与机架(10)固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种新型的扫描电子显微镜,其特征在于:所述机架(10)上设置有样品室(16),所述样品室(16)的外侧安装有固定架(15)。

5.根据权利要求4所述的一种新型的扫描电子显微镜,其特征在于:所述样品室(16)上设置有翻板(17),所述样品室(16)的一端安装有密封槽(18)。

6.根据权利要求1所述的一种新型的扫描电子显微镜,其特征在于:所述物镜光闸(5)的底端安装有护罩(14),且护罩(14)位于机架(10)内的中间位置。

7.根据权利要求1所述的一种新型的扫描电子显微镜,其特征在于:所述物镜光闸(5)上设置有放大器(19),且放大器(19)位于物镜光闸(5)的外侧位置。

8.根据权利要求1-7任一项所述的一种新型的扫描电子显微镜,其特征在于:其使用方法包括以下步骤:

S1:通过镜筒(2)顶端的电子枪(1)进行电子束的发射,通过镜筒(2)内部的光闸架(3)进行连接光闸的位置,实现电子束的传播;

S2:通过镜筒(2)内部的聚光镜(4)进行电子束的聚集,通过连接座(11)进行固定镜筒(2)的底端位置,通过机架(10)一端的真空管(13)实现机架(10)内部的隔板(7)内侧的真空抽取,通过物镜光闸(5)实现电子束的穿透,进而对试样板(9)上的样品进行扫描解析;

S3:通过机架(10)内部的扫描发生器进行画面的传输,进而通过外端的显示设备进行显示。

9.根据权利要求8任一项所述的一种新型的扫描电子显微镜,其特征在于:还包括通过机架(10)外侧的样品室(16)连接翻板(17)的位置,实现样品的投入,通过密封槽(18)实现外侧的隔断,进而增加扫描的效果,通过机架(10)上的固定架(15)进行连接样品室(16)的外侧位置固定,通过物镜光闸(5)外侧的放大器(19)实现扫描过程中的细节输入。

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