1.一种用于小尺寸圆管内壁薄膜沉积的装置,其特征在于:包括底座(1),所述底座(1)上从左至右依次设有固定立柱(2)、加热固定机构以及入料导向器(19),所述固定立柱(2)的下端与底座(1)固定连接、固定立柱(2)的上端设有供喷管(4)插入固定的插孔;
所述加热固定机构包括固定架(20)、固定导向盘(10)以及设置于固定导向盘(10)上的燃烧组件,所述固定架(20)固定安装在所述底座(1)上,所述固定导向盘(10)与所述入料导向器(19)均固定在所述固定架(20)上,所述固定导向盘(10)的中心处沿插孔的中轴线方向开设有供料通道;所述燃烧组件包括脉冲点火器(6)、燃气管(7)以及回火器(9),所述燃气管(7)的一端对应安装脉冲点火器(6)、燃气管(7)的另一端连接回火器(9);
还包括连接喷管(4)和圆管基体(15)的同心导向环套(5),所述同心导向环套(5)由弹性金属材质制成,该同心导向环套(5)的中部沿轴向开设有通孔;所述同心导向环套(5)的两端均开设有缺口槽,且该同心环套的两个端部均沿通孔的径向向内凹陷形成若干弹片部(5a);所有的弹片部(5a)均沿同心导向环套(5)的回转周向均布。
2.根据权利要求1所述的一种用于小尺寸圆管内壁薄膜沉积的装置,其特征在于:所述供料通道内同轴安装有同心导向环套(5)。
3.根据权利要求1所述的一种用于小尺寸圆管内壁薄膜沉积的装置,其特征在于:所述固定导向盘(10)的中心处固定安装有水冷隔热盘(11),所述水冷隔热盘(11)与固定导向盘(10)同轴,该水冷隔热盘(11)的内部安装有冷却水管(16),冷却水管(16)通过压块(14)固定在水冷隔热盘(11)上;水冷隔热盘(11)的中心处开设有穿孔,该穿孔可供圆管基体(15)穿过。
4.根据权利要求3所述的一种用于小尺寸圆管内壁薄膜沉积的装置,其特征在于:所述穿孔内同轴固定安装有同心导向环套(5)。