欢迎来到知嘟嘟! 联系电话:13095918853 卖家免费入驻,海量在线求购! 卖家免费入驻,海量在线求购!
知嘟嘟
我要发布
联系电话:13095918853
知嘟嘟经纪人
收藏
专利号: 2020112699281
申请人: 马鞍山锲恒精密组件科技有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:授权未缴费
专利领域: 清洁
更新日期:2024-02-17
缴费截止日期: 暂无
价格&联系人
年费信息
委托购买

摘要:

权利要求书:

1.一种半导体晶圆表面清洗装置,包括储液箱(1),其特征在于:所述储液箱(1)的顶部固定连接有清洗台(2),半导体晶圆通过机械手臂放置在清洗台(2)的顶部并与清洗台(2)的顶部相贴合,所述储液箱(1)的左侧设置有回流过滤机构(3),所述清洗台(2)的顶部设置有吸附机构(4),所述清洗台(2)的右侧固定连接有机箱(6),所述机箱(6)的顶部固定连接有壳体(13),所述壳体(13)的内腔设置有推动机构(8),所述机箱(6)的内腔设置有驱动机构(5),所述储液箱(1)的右侧设置有供水机构(7),所述供水机构(7)包括安装于储液箱(1)右侧的水泵(71),所述水泵(71)的进水端贯穿至储液箱(1)的内腔,所述水泵(71)的出水端连通有供水管(72),所述供水管(72)远离水泵(71)的一端连通有连接软管(73),所述清洗台(2)的顶部设置有L形空心转动架(74),所述连接软管(73)远离供水管(72)的一端与L形空心转动架(74)相连通,所述壳体(13)的顶部开设有与L形空心转动架(74)的一端相适配的矩形缺口(75),所述L形空心转动架(74)的另一端对称固连有两个与其内腔相通的喷嘴安装管,所述喷嘴安装管的底部均匀固连有多个喷嘴(76),所述喷嘴安装管的下方设置有与其平行的擦拭棉条(12),所述喷嘴(76)贯穿至擦拭棉条(12)内,且喷嘴(76)的底部略高于擦拭棉条(12)的底部,水泵(71)抽取储液箱(1)内腔中的清洗液并通过供水管(72)和连接软管(73)输送至L形空心转动架(74)内,L形空心转动架(74)内的清洗液通过喷嘴安装管连续供给喷;

所述推动机构(8)包括固定连接在机箱(6)顶部前侧和后侧的固定架(81),两固定架(81)之间转动连接有安装轴,所述L形空心转动架(74)的端部与安装轴的中部固定连接,所述安装轴上位于L形空心转动架(74)的两侧分别固连有齿轮(82),所述机箱(6)的顶部滑动连接有齿板(83),所述齿板(83)与齿轮(82)相啮合,所述齿板(83)的顶部开设有U形腔体(84),所述U形腔体(84)的内腔安装有与机箱(6)固定连接的气缸(85),所述气缸(85)的活塞杆端部与U形腔体(84)的内腔底部固定连接,气缸(85)驱动齿板(83)向右侧滑动,使两齿轮(82)带动L形空心转动架(74)向左侧翻转,使得擦拭棉条(12)翻转至半导体晶圆的顶部并与半导体晶圆的顶部相贴合。

2.根据权利要求1所述的一种半导体晶圆表面清洗装置,其特征在于:所述吸附机构(4)包括位于清洗台(2)顶部的转动盘(41),所述转动盘(41)的底部固定连接有转动管(42),所述转动管(42)贯穿至清洗台(2)的内腔并通过轴承与清洗台(2)转动连接,所述转动管(42)的内腔贯穿固定有气管(43),所述气管(43)的顶端贯穿至转动盘(41)的顶部并连通有硅胶吸盘(44),所述气管(43)的底部连通有真空发生器(45),机械手臂将半导体晶圆放置在清洗台(2)的顶部时,半导体晶圆挤压硅胶吸盘(44),真空发生器(45)对硅胶吸盘(44)抽真空,使硅胶吸盘(44)吸附在半导体晶圆的底部。

3.根据权利要求2所述的一种半导体晶圆表面清洗装置,其特征在于:所述驱动机构(5)包括安装于机箱(6)内腔的电机(51),所述转动管(42)表面的底部固定连接有大转盘(52),所述电机(51)的输出轴固定连接有小转盘(53),所述小转盘(53)和大转盘(52)通过皮带传动连接。

4.根据权利要求3所述的一种半导体晶圆表面清洗装置,其特征在于:所述回流过滤机构(3)包括固定连接在清洗台(2)左侧的上回流管(31),所述上回流管(31)与清洗台(2)相连通,所述储液箱(1)的左侧固定连接有下回流管(32),所述下回流管(32)与储液箱(1)相连通,所述上回流管(31)和下回流管(32)之间设置有滤芯(33),所述下回流管(32)的顶部及滤芯(33)的底部均固定连接有固定盘(34),两固定盘(34)之间设置有弹簧(35)。

5.根据权利要求4所述的一种半导体晶圆表面清洗装置,其特征在于:所述清洗台(2)的顶部开设有环形凹槽(9),且环形凹槽(9)的内径大于转动盘(41)的外径,所述环形凹槽(9)的槽底沿周向均匀开设有多个回流孔(10),清洗后的清洗液汇流至环形凹槽(9)内,并通过回流孔(10)流入清洗台(2)的内腔,再由上回流管(31)、滤芯(33)和下回流管(32)回流至储液箱(1)的内腔,并在滤芯(33)处进行过滤。

6.根据权利要求5所述的一种半导体晶圆表面清洗装置,其特征在于:所述转动盘(41)的内腔底部设置有硅胶吸附垫(11)。