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专利号: 2020112872054
申请人: 燕山大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2024-11-18
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种基于放电的二次电子发射系数测量装置,包括放电箱(1),其特征在于:所述放电箱(1)内设置两个放电腔,分别为上放电腔(3)和下放电腔(4),所述上放电腔(3)包括上放电板(10),所述上放电板(10)与放电箱(1)上内侧壁构成上放电腔(3),所述下放电腔(4)包括下放电板(11),所述下放电板(11)与放电箱(1)下内侧壁构成下放电腔(4),所述放电箱(1)左端内侧壁上设置阴极板(2),所述上放电腔(3)右端内侧壁上设置上阳极板(5),所述下放电腔(4)右端内侧壁上设置下阳极板(6),所述上放电板(10)和下放电板(11)均可与放电箱(1)相对来回移动来改变上放电腔(3)和下放电腔(4)空间大小,以远离或靠近上阳极板(5)或下阳极板(6)的运动方式来回移动。

2.根据权利要求1所述的一种基于放电的二次电子发射系数测量装置,其特征在于:所述放电箱(1)采用透明的石英材料。

3.根据权利要求1所述的一种基于放电的二次电子发射系数测量装置,其特征在于:所述放电箱(1)侧壁上设置气压孔(7)。

4.根据权利要求1所述的一种基于放电的二次电子发射系数测量装置,其特征在于:所述下放电板(11)横向长度大于上放电板(10)横向长度。

5.一种基于放电的二次电子发射系数测量方法,其特征在于:包括以下步骤,S1:将上放电板(10)左端内侧壁上贴上待测材料(8),下放电板(11)左端内侧壁上贴上基准材料(9);

S2:S1步骤完成后,阴极板引出导线接电源负极,上阳极板(5)和下阳极板(6)引出导线共接电源正极;

S3:移动上放电板(10),使上放电腔(3)的空间体积小于下放电腔(4),逐渐增大电源电压,使下放电腔(4)能够放电,进一步移动上放电板(10),以远离或靠近上阳极板(5)或下阳极板(6)的运动方式来回移动,直到上放电腔(3)能够放电,此时分别记录上放电腔(3)和下放电腔(4)的长度L2和L1;

α·L

S4:利用汤生自持放电条件公式:γ·(e ‑1)=1,其中α为汤生第一电离系数,代表的是电子与中性气体碰撞的电离倍增作用;γ为阴极发射的二次电子数与入射到阴极电子数之比,也就是二次电子发射系数,L为放电时两个极板之间的距离;对于相同气体,气压,电场的情况下,α值相同;将两个放电腔二次电子发射系数之间的关系分别改写成:两个方程取自然对数后,相除可以进一步得到:该方程整理后得到 因此根据已知材料的γ1和两种情况下的自维持放电长度L1,L2,可得到未知材料的二次电子发射系数γ2。