1.一种金刚石薄膜厚度及光学常数检测方法，其特征在于：包括：S1，将金刚石薄膜沉积在衬底上；

S2，测量金刚石薄膜的椭偏光谱数据及吸收光谱数据；

S3，根据测量所获的椭偏光谱数据及吸收光谱数据，判断金刚石薄膜是单晶金刚石薄膜或多晶金刚石薄膜，如为单晶金刚石薄膜则执行S41，如为多晶金刚石薄膜则执行S42；

S41，采用Cauchy模型计算以获全波段的薄膜光学常数和薄膜厚度d，该薄膜光学常数至少包括光学常数n、k，n为折射率，k为消光系数；

S42，从多晶金刚石薄膜中选择一段薄膜的透明区，采用Cauchy模型计算得到该波段范围的薄膜光学常数和薄膜厚度；

S5，在多晶金刚石薄膜的吸收光谱数据添加介电常数振子模型，根据椭偏光谱数据以至少调整振子的幅度和薄膜宽度；

S6，利用评价函数MSE评判实验值和拟合值之间的差距以确定金刚石薄膜的薄膜光学常数n、k和薄膜厚度d。

2.根据权利要求1所述的一种金刚石薄膜厚度及光学常数检测方法，其特征在于：该S3中，依据吸收差异判断金刚石薄膜是单晶金刚石薄膜或多晶金刚石薄膜。

3.根据权利要求1所述的一种金刚石薄膜厚度及光学常数检测方法，其特征在于：该S42中，Cauchy模型计算公式为：An、Bn和Cn为Cauchy模型参数，λ为波长，消光系数k由Ak、Bk和Eb三个参数描述，Eb＝1240/λb，Eb与衬底材料相关。

4.根据权利要求1所述的一种金刚石薄膜厚度及光学常数检测方法，其特征在于：该S5中，该介电常数振子模型为Lorentz振子，该Lorentz振子计算公式为：式中，A为模型参数的幅度，En为模型参数的中心位置，Br为模型参数的半波宽度。

5.根据权利要求1所述的一种金刚石薄膜厚度及光学常数检测方法，其特征在于：该S6中，该评价函数MSE计算公式为：式中mod为拟合值，exp为测量值，δ为测量误差，N为椭偏仪同时测量的ψ、Δ的总对数，M为所选取拟合参数的对数。

6.根据权利要求1所述的一种金刚石薄膜厚度及光学常数检测方法，其特征在于：该S1中的衬底为Si、Al2O3或金刚石衬底。