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专利号: 2020112987664
申请人: 长春理工大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2024-02-23
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种中红外波段激光器外延结构,其特征在于,包括依次设置于衬底上的过滤缓冲层、n型波导层、n型限制层、有源区、p型限制层、p型波导层和p型覆盖层;所述过滤缓冲层包括InxGa1-xAsySb1-y,其中,0

增强化学气相沉积法;优选地,步骤c)中,曝光采用电子束曝光法;优选地,步骤d)中,刻蚀采用反应离子刻蚀法;优选地,步骤e)中,刻蚀采用电感耦合等离子体法。9.一种权利要求6所述的中红外波段微腔激光器或权利要求7或8所述的制备方法制备得到的中红外波段微腔激光器在非线性光学、量子光学、光子集成或物质检测中的应用。10.一种检测器件,其特征在于,包括权利要求6所述的中红外波段微腔激光器或权利要求7或8所述的制备方法制备得到的中红外波段微腔激光器。