欢迎来到知嘟嘟! 联系电话:13095918853 卖家免费入驻,海量在线求购! 卖家免费入驻,海量在线求购!
知嘟嘟
我要发布
联系电话:13095918853
知嘟嘟经纪人
收藏
专利号: 2020113011442
申请人: 临漳县澳皇网络科技有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 磨削;抛光
更新日期:2025-02-05
缴费截止日期: 暂无
价格&联系人
年费信息
委托购买

摘要:

权利要求书:

1.一种超薄晶圆加工装置,其结构包括加工机构(1)、旋转器(2)、控制开关(3)、工作台(4),所述旋转器(2)与加工机构(1)位于同一中心轴线上,所述控制开关(3)嵌固在工作台(4)上端表面,所述加工机构(1)安装于工作台(4)上端,所述旋转器(2)固定在工作台(4)的上端,其特征在于:所述加工机构(1)设有固定板(11)、伸缩器(12)、研磨结构(13)、旋转板(14)、固定结构(15),所述伸缩器(12)位于旋转器(2)的下端位置,所述伸缩器(12)嵌固在固定板(11)外侧,所述研磨结构(13)固定贴合在伸缩器(12)下端内侧,所述固定板(11)的下端贯穿于研磨结构(13)内部,所述固定结构(15)与研磨结构(13)位于同一中心轴线上,所述固定结构(15)嵌固在旋转板(14)上端,所述旋转板(14)安装于工作台(4)上端;所述固定结构(15)设有阻挡机构(51a)、受力环(52a)、放置槽(53a),所述阻挡机构(51a)嵌固在受力环(52a)内侧,所述受力环(52a)与放置槽(53a)位于同一中心轴线上,所述阻挡机构(51a)位于放置槽(53a)外侧,所述受力环(52a)的下端安装于旋转板(14)上端;所述阻挡机构(51a)设有连接板(a1)、橡胶板(a2)、受力板(a3)、贴合结构(a4),所述连接板(a1)位于橡胶板(a2)外侧,所述橡胶板(a2)内侧贴合在受力板(a3)外侧,所述贴合结构(a4)外侧嵌固在受力板(a3)内侧,所述连接板(a1)焊接在受力环(52a)内侧;所述贴合结构(a4)设有密封槽(a41)、橡胶块(a42)、摩擦块(a43)、弯曲板(a44),所述橡胶块(a42)嵌固在摩擦块(a43)侧面两端,所述弯曲板(a44)与橡胶块(a42)贴合连接,所述密封槽(a41)位于摩擦块(a43)内侧,所述弯曲板(a44)焊接在受力板(a3)侧面;所述研磨结构(13)设有研磨板(w1)、摩擦结构(w2)、透气孔(w3)、固定环(w4),所述摩擦结构(w2)贯穿于研磨板(w1)内部,所述透气孔(w3)设有三十个并且以研磨板(w1)的中心点为中心环形分布,所述固定环(w4)焊接在研磨板(w1)外侧,所述摩擦结构(w2)位于透气孔(w3)两侧,所述固定环(w4)嵌固在伸缩器(12)下端内侧;所述摩擦结构(w2)设有贴合板(w21)、受力结构(w22)、间隙槽(w23),所述受力结构(w22)与间隙槽(w23)间隙配合,所述贴合板(w21)贯穿于间隙槽(w23)内部,所述贴合板(w21)位于受力结构(w22)靠近中心的一侧,所述间隙槽(w23)贯穿于研磨板(w1)内部;所述受力结构(w22)设有支撑杆(21w)、弧形刀口(22w)、活动槽(23w),所述弧形刀口(22w)贴合在支撑杆(21w)侧面,所述活动槽(23w)连接在支撑杆(21w)内部,所述活动槽(23w)位于弧形刀口(22w)内侧,所述支撑杆(21w)贯穿于间隙槽(w23)内部。