1.基于非对称耦合的两级亚波长光栅硅基光偏振分束旋转器，其特征在于，采用二氧化硅作为基底，空气作为上包层以打破垂直对称性；使用硅波导，形成偏振分束旋转器主体；

所述硅波导分为三部分：波导1为一级耦合亚波长光栅波导，等效拓宽波导特征尺寸，进而增大制作容差；波导2为两级锥形刻蚀波导，第一级锥形刻蚀与波导1完成相位匹配，实现偏振旋转，第二级刻蚀为反锥形刻蚀，用于恢复波导厚度实现二级耦合；波导3为二级亚波长光栅波导，对残留的TM0偏振模式进行二次耦合滤除。

2.根据权利要求1所述的基于非对称耦合的两级亚波长光栅硅基光偏振分束旋转器，其特征在于，所述波导1引入折射率的周期调制，并按照亚波长光栅折射率等效原理设计如下：neq＝pn1+(1-p)n2                               (1)其中，neq为等效折射率，p为光栅占空比，n1和n2分别为光栅两段的材料折射率；此处n2为空气，所以有效折射率为1。

3.根据权利要求2所述的基于非对称耦合的两级亚波长光栅硅基光偏振分束旋转器，其特征在于，所述波导2采用部分锥形刻蚀，刻蚀段分为两级；第一段为耦合区，通过部分刻蚀使得该段的TM0偏振态与波导1的TE0偏振态满足相位匹配条件：neff1(TE0)＝neff2(TM0)                          (2)其中，neff1(TE0)表示波导1中TE0偏振模式的有效折射率，neff2(TM0)表示波导2中TM0偏振模式的有效折射率；将刻蚀段的中点设为相位匹配点；经过上述刻蚀，波导2的耦合段实现偏振分束旋转功能；而后波导2的第二级刻蚀将恢复波导2为均匀波导。

4.根据权利要求3所述的基于非对称耦合的两级亚波长光栅硅基光偏振分束旋转器，其特征在于，所述波导3为亚波长光栅结构，主要是与波导2完成偏振耦合，实现残留偏振模式的滤除；在完成耦合后尾部逐渐收窄，形成锥形将耦合而来的能量耗散到自由空间；

由于波导3的引入，在前两部分制作产生误差的情况下，将未按预期耦合进入波导1的TM0偏振模式滤除，从而解决亚波长光栅结构的偏振分束旋转器消光比较低的问题；

经过上述三部分组成的偏振分束旋转器后，TM0偏振模式成功被分束入波导1，同时完成TM0到TE0的偏振模式旋转，而整体结构并不对入射的TE0偏振模式发生作用，保证其以极低的损耗从波导2输出。

5.根据权利要求4所述的基于非对称耦合的两级亚波长光栅硅基光偏振分束旋转器，其特征在于，所述波导1中亚波长光栅的宽度为522nm，占空比为0.7；波导2中刻蚀深度设为

70nm；波导3中亚波长光栅的宽度为678nm，占空比为0.6。