1.一种原子层沉积技术生长VxC纳米材料的方法,包括以下步骤:(1)将衬底置于反应腔中,在真空条件下,以脉冲形式向反应腔中通入气化后的V源,在
150~350℃下进行沉积,得到沉积有V源的衬底,所述V源为三异丙氧基氧化钒,结构式见式
1,
(2)充入气体进行吹扫;
(3)将气化后的碳源以脉冲形式通入反应腔,与沉积在衬底上的V源进行反应,得到含单原子层VxC纳米材料的衬底;
(4)再次充入气体进行吹扫,完成一个ALD生长循环;
重复(1)‑(4)若干次数,即可得到生长有VxC纳米材料的衬底。
2.根据权利要求1所述的一种原子层沉积技术生长VxC纳米材料的方法,其特征在于,步骤(1)中,以脉冲形式向反应腔中通入气相V源的单个脉冲的持续时间为0.5~20s。
3.根据权利要求1或2所述的一种原子层沉积技术生长VxC纳米材料的方法,其特征在于,步骤(1)中,所述气化后的V源在载气存在条件下以脉冲形式通入,所述载气的流量为10~200sccm。。
4.根据权利要求1~3任一所述的一种原子层沉积技术生长VxC纳米材料的方法,其特征在于,步骤(2)中,所述吹扫的时间为1~100s。
5.根据权利要求1~4任一所述的一种原子层沉积技术生长VxC纳米材料的方法,其特征在于,所述步骤(3)中碳源为乙醚、丙醚、丁醚、四氢呋喃中的一种或几种。
6.根据权利要求1~5任一所述的一种原子层沉积技术生长VxC纳米材料的方法,其特征在于,步骤(3)中,将碳源以脉冲形式通入反应腔的单个脉冲的持续时间为0.1~20s。
7.根据权利要求1~6任一所述的一种原子层沉积技术生长VxC纳米材料的方法,其特征在于,步骤(3)中,所述碳源在载气存在条件下以脉冲形式通入;所述载气的流量为20~
200sccm。
8.根据权利要求1~7任一所述的一种原子层沉积技术生长VxC纳米材料的方法,其特征在于,重复步骤(1)~(4)的操作1~2000次。
9.根据权利要求1~8任一所述的一种原子层沉积技术生长VxC纳米材料的方法在电解水领域的应用。