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专利号: 2020113264643
申请人: 江南大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕
更新日期:2023-10-10
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种原子层沉积技术生长VxC纳米材料的方法,包括以下步骤:(1)将衬底置于反应腔中,在真空条件下,以脉冲形式向反应腔中通入气化后的V源,在

150~350℃下进行沉积,得到沉积有V源的衬底,所述V源为三异丙氧基氧化钒,结构式见式

1,

(2)充入气体进行吹扫;

(3)将气化后的碳源以脉冲形式通入反应腔,与沉积在衬底上的V源进行反应,得到含单原子层VxC纳米材料的衬底;

(4)再次充入气体进行吹扫,完成一个ALD生长循环;

重复(1)‑(4)若干次数,即可得到生长有VxC纳米材料的衬底。

2.根据权利要求1所述的一种原子层沉积技术生长VxC纳米材料的方法,其特征在于,步骤(1)中,以脉冲形式向反应腔中通入气相V源的单个脉冲的持续时间为0.5~20s。

3.根据权利要求1或2所述的一种原子层沉积技术生长VxC纳米材料的方法,其特征在于,步骤(1)中,所述气化后的V源在载气存在条件下以脉冲形式通入,所述载气的流量为10~200sccm。。

4.根据权利要求1~3任一所述的一种原子层沉积技术生长VxC纳米材料的方法,其特征在于,步骤(2)中,所述吹扫的时间为1~100s。

5.根据权利要求1~4任一所述的一种原子层沉积技术生长VxC纳米材料的方法,其特征在于,所述步骤(3)中碳源为乙醚、丙醚、丁醚、四氢呋喃中的一种或几种。

6.根据权利要求1~5任一所述的一种原子层沉积技术生长VxC纳米材料的方法,其特征在于,步骤(3)中,将碳源以脉冲形式通入反应腔的单个脉冲的持续时间为0.1~20s。

7.根据权利要求1~6任一所述的一种原子层沉积技术生长VxC纳米材料的方法,其特征在于,步骤(3)中,所述碳源在载气存在条件下以脉冲形式通入;所述载气的流量为20~

200sccm。

8.根据权利要求1~7任一所述的一种原子层沉积技术生长VxC纳米材料的方法,其特征在于,重复步骤(1)~(4)的操作1~2000次。

9.根据权利要求1~8任一所述的一种原子层沉积技术生长VxC纳米材料的方法在电解水领域的应用。