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专利号: 2020114171754
申请人: 重庆邮电大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2024-02-23
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1. 一种具有表面和体内双沟道的横向超结薄层SOI‑LDMOS器件,其特征在于:包括源极接触区(1)、源极P+区(2)、源极N+区(3)、栅源隔离氧化层(4)、表面栅氧化层(5)、表面栅极接触区(6)、场氧化层(7)、第一层N型漂移区(8)、漏极接触区(9)、漏极N+区(10)、第二层N型漂移区(11)、埋氧层(12)、P型埋层(13)、衬底(14)、体内栅氧化层(15)、P‑body(16)、体内栅接触区(17);所述源极接触区(1)位于源极N+区(3)、源极P+区(2)的上方,源极接触区(1)的右边紧邻栅源隔离氧化层(4)的左边;所述源极P+区(2)的上左边与源极接触区(1)的下边接触,源极P+区(2)还位于源极N+区(3)中,其形状为L型,同时,源极P+区(2)最右边与P‑body(16)左边的一部分接触;所述源极N+区(3)的上边与源极接触区(1)、栅源隔离氧化层(4)的下边接触,下边与体内栅氧化层(15)的上左边相邻,其最右边与P‑body(16)的左边接触,同时,所述源极N+区(3)中还存在一个其形状为L型源极P+区(2);所述栅源隔离氧化层(4)的左边与源极接触区(1)的右边相邻,栅源隔离氧化层(4)的右边与表面栅氧化层(5)、表面栅极接触区(6)的左边相邻,下边与源极N+区(3)的上右边接触;所述表面栅氧化层(5)的上边紧邻表面栅极接触区(6)的下边,表面栅氧化层(5)的左侧与栅源隔离氧化层(4)的右下侧接触,右侧与场氧化层(7)的左下侧接触,同时,表面栅氧化层(5)的下边紧邻P‑body(16)的上边;所述表面栅极接触区(6)下边与表面栅氧化层(5)上边接触,左边与栅源隔离氧化层(4)的右上边接触,右边与场氧化层(7)的左上边接触;所述场氧化层(7)的左侧与表面栅氧化层(5)和表面栅极接触区(6)的右侧相邻,场氧化层(7)右侧紧邻漏极接触区(9)的左侧,同时,场氧化层(7)位于第一层N型漂移区(8)的上方;所述第一层N型漂移区(8)位于P型埋层(13)的上侧和场氧化层(7)的下侧,左侧与P‑body(16)的右侧接触,右侧与漏极N+区(10)的左侧接触;所述漏极接触区(9)位于漏极N+区(10)的上方,漏极接触区(9)左侧紧邻场氧化层(7)的右侧;所述漏极N+区(10)位于漏极接触区(9)的正下方,同时,其左边与P型埋层(13)、第一层N型漂移区(8)和第二层N型漂移区(11)的右边接触,漏极N+区(10)的下边与埋氧层(12)的上右边相邻;所述第二层N型漂移区(11)的上边紧邻P型埋层(13)的下边,下边与埋氧层(12)的上边接触,第二层N型漂移区(11)的左边与P‑body (16)的右侧接触,右边与漏极N+区(10)的左侧相邻;所述埋氧层(12)下边紧邻衬底(14)的上边,埋氧层(12)的上边与漏极N+区(10)下边、第二层N型漂移区(11)的下边相邻,同时,埋氧层(12)的左上边紧邻体内栅氧化层(15)和体内栅接触区(17)的右边,上左边与体内栅接触区(17)的下边接触;所述的P型埋层(13)位于第一层N型漂移区(8)和第二层N型漂移区(11)之间,上侧与第一层N型漂移区(8)下侧接触,下侧与第二层N型漂移区(11)上侧接触,左侧紧邻P‑body(16)的右侧,右侧紧邻漏极N+区(10)的左侧;所述衬底(14)上侧与埋氧层(12)下侧接触,其位于器件的底部;所述体内栅氧化层(15)的下边与体内栅接触区(17)的上边接触,其右侧与埋氧层(12)接触,同时,体内栅氧化层(15)的上边与源极N+区(3)和P‑body(16)的下边接触;所述P‑body(16)的左边与源极N+区(3)、源极P+区(2)的右边接触,同时,其上边紧邻表面栅氧化层(5)的下边,下边与体内栅氧化层(15)的上右边接触,右边与P型埋层(13)、第一层N型漂移区(8)和第二层N型漂移区(11)的左边接触;所述体内栅接触区(17)位于埋氧层(12)的上左边和体内栅氧化层(15)的下边,其右侧与埋氧层(12)接触。

2.根据权利要求1所述的一种具有表面和体内双沟道的横向超结薄层SOI‑LDMOS器件,

16

其特征在于:所述P型埋层(13)掺入杂质类型为P型杂质,其掺杂浓度范围为1×10 1×~

17 ‑3

10 cm 。

3.根据权利要求1所述的一种具有表面和体内双沟道的横向超结薄层SOI‑LDMOS器件,其特征在于:所述P型埋层(13)的长度为3 7.5μm,能够调节,宽度为0.2 0.7μm,能够调节。

~ ~

4.根据权利要求1所述的一种具有表面和体内双沟道的横向超结薄层SOI‑LDMOS器件,其特征在于:所述表面栅极接触区(6)的材料为N型掺杂的多晶硅。

5.根据权利要求1所述的一种具有表面和体内双沟道的横向超结薄层SOI‑LDMOS器件,其特征在于:所述体内栅接触区(17)的材料为N型掺杂的多晶硅。