1.一种精准定位受力、灵敏度可调的电容式柔性触觉传感器,包含多个传感单元,每个传感单元采用上中下三层结构,其特征在于:上层结构包括作为衬底的PDMS薄膜和作为电极的二维石墨烯;
中层结构为作为绝缘体的PDMS微结构介电层;
下层的结构、材料与上层相同,空间上是由上层结构翻转后水平面旋转90°,与上层结构共同形成互相垂直的两条电极,两条电极的中心圆形区域为电容单元;
上层结构中的石墨烯电极与下层结构中的石墨烯电极组成电容的上下极板,电极以外部分由介电层的凸台作为支撑,在极板之间形成空气介质;
所述的介电层的凸台呈放射状排列,通过改变凸台的尺寸大小、排列密度、排列夹角来改变器件受力形变的情况,进而调整灵敏度的变化,使得传感器适用于更多的场合;
所述的介电层的凸台支撑使得电容单元受力后更容易产生形变,同时也实现对电容单元外受力的卸载,从而实现精准受力定位。