1.一种芯片光刻加工设备,包括主体外壳(1),其特征在于:所述主体外壳(1)的内部右侧固定连接有喷洒机构(2),所述主体外壳(1)的内部前侧开设有第一滑槽(3),所述主体外壳(1)的内部后侧开设有第二滑槽(4),所述第一滑槽(3)和第二滑槽(4)的左端和右端均固定连接有限位块(5),所述第一滑槽(3)的内侧滑动连接有夹持机构(6),所述第二滑槽(4)的内侧也固定连接有夹持机构(6),所述主体外壳(1)的内侧上端固定连接有烘干机构(7),所述主体外壳(1)的内部左端固定连接有出片机构(8),所述主体外壳(1)的左端固定连接有上料机构(9),所述主体外壳(1)的下端倒角处固定连接有支腿(10);
所述夹持机构(6)包括第一滑轮(601),所述第一滑轮(601)的前端侧壁和第一滑槽(3)贴合连接,所述第一滑轮(601)的内侧固定连接有第一连接杆(602),所述第一连接杆(602)的下端外侧和上端外侧均转动连接有滑轮外壳(603),所述滑轮外壳(603)的内部右侧液转动连接有第二连接杆(618),所述第二连接杆(618)的外侧固定连接有第二滑轮(604),所述第一滑轮(601)和第二滑轮(604)的侧壁均开设有轮槽(605),所述轮槽(605)的外侧传动连接有第一传动带(606),所述第一滑轮(601)的上端固定连接有第一传动轮(607),所述第一传动轮(607)的外侧传动连接有第二传动带(608),所述第二传动带(608)的内侧传动连接有第二传动轮(609),所述滑轮外壳(603)的后端固定连接有驱动电机(610),所述驱动电机(610)的输出轴段端部和第二传动轮(609)的内侧固定连接,所述滑轮外壳(603)的后端固定连接有连接外壳(611),所述连接外壳(611)设在驱动电机(610)的外侧,所述连接外壳(611)的外侧和第一滑槽(3)滑动连接,所述连接外壳(611)的后端固定连接有抓取机构(612),所述第二滑槽(4)的内侧也滑动连接有连接外壳(611);
所述抓取机构(612)包括拼接块(613),所述拼接块(613)的后端固定连接有气缸(614),所述气缸(614)的伸缩轴端部固定连接有弧形卡爪(615),所述弧形卡爪(615)的后端固定连接有硅胶片(616),所述硅胶片(616)的后端开设有卡槽(617),所述第二滑槽(4)的内侧也滑动连接有连接外壳(611)。
2.根据权利要求1所述的一种芯片光刻加工设备,其特征在于:所述喷洒机构(2)包括预设管(201),所述预设管(201)的一端伸入主体外壳(1)固定连接有喷淋头(202),所述预设管(201)的另一端固定连接有供水管(203),所述供水管(203)的另一端固定连接有总管(204),所述总管(204)的一端固定连接有液泵(205),所述主体外壳(1)的内部左端开设有流水槽(211),所述主体外壳(1)的左侧下端固定连接有接取斗(212)。
3.根据权利要求2所述的一种芯片光刻加工设备,其特征在于:所述喷淋头(202)包括连接块(206),所述连接块(206)的内部开设有液流槽(207),所述液流槽(207)的下端固定连接有加长管(208),所述加长管(208)的下端固定连接有短管(209),所述短管(209)的内侧固定连接有筛网(210)。
4.根据权利要求1所述的一种芯片光刻加工设备,其特征在于:所述烘干机构(7)包括出风外壳(701),所述出风外壳(701)的上端和主体外壳(1)固定连接,所述出风外壳(701)的下端开设有出风槽(702),所述出风外壳(701)的内侧中部固定连接有拦风板(703),所述主体外壳(1)内侧下端对应出风外壳(701)的位置开设有出风孔(714),所述出风外壳(701)的上端固定连接有窄风管(704),所述窄风管(704)的上端固定连接有宽风管(705),所述宽风管(705)的另一端固定连接有鼓风机(706),所述宽风管(705)的内侧固定连接有加热管(715),所述鼓风机(706)的下端固定连接有减震机构(707),所述减震机构(707)的下端和主体外壳(1)固定连接,所述主体外壳(1)的内侧下端也和烘干机构(7)固定连接。
5.根据权利要求4所述的一种芯片光刻加工设备,其特征在于:所述减震机构(707)包括减震底座(708),所述减震底座(708)的下端和主体外壳(1)固定连接,所述减震底座(708)的内侧固定连接有减震底板(709),所述减震底板(709)的上端固定连接有第一减震弹簧(710),所述第一减震弹簧(710)的上端固定连接有减震板(711),所述减震板(711)的上端和鼓风机(706)固定连接,所述减震底座(708)的内侧左端和内侧右端均开设有弹簧槽(713),所述弹簧槽(713)的底端固定连接有第二减震弹簧(712),所述第二减震弹簧(712)的另一端和鼓风机(706)固定连接。
6.根据权利要求1所述的一种芯片光刻加工设备,其特征在于:所述出片机构(8)包括支板(801),所述支板(801)的下端和主体外壳(1)固定连接,所述支板(801)的上端固定连接有倾斜板(802),所述倾斜板(802)的下端右侧固定连接有角板(803),所述角板(803)的上端和主体外壳(1)固定连接,所述倾斜板(802)的下端设有传送台(804),所述传送台(804)设在支腿(10)的内侧。
7.根据权利要求1所述的一种芯片光刻加工设备,其特征在于:上料机构(9)包括机内架腿(901),所述机内架腿(901)的下端和主体外壳(1)固定连接,所述机内架腿(901)的右端固定连接有框架(902),所述框架(902)的右端固定连接有机外架腿(903),所述框架(902)之间固定连接有短轴(904),所述短轴(904)的外侧固定连接有窄皮带(905)。
8.一种芯片加工工艺,其特征在于:使用了权利要求1‑7任一项所述的一种芯片光刻加工设备对芯片加工。