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专利号: 2020114778894
申请人: 江南大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 有机化学〔2〕
更新日期:2023-10-10
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种利用原子层沉积技术快速生长NixC薄膜的方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)将衬底置于原子层沉积设备的反应腔中,先将Ni前驱体加热进行气化得到气相Ni前驱体,再以脉冲形式通入气相Ni前驱体进行沉积,沉积温度为200~350℃,即可得到沉积有Ni前驱体的衬底,所述Ni前驱体为具有式1所示结构的化合物:(2)向体系中充入高纯氮气或高纯氩气进行吹扫;

(3)将气相碳源以脉冲形式通入原子层沉积设备的反应腔,与步骤(1)得到的沉积在衬底上的Ni前驱体进行单原子反应,得到含单原子层NixC薄膜的衬底,所述碳源为甲酸、乙酸、丙酸、丁酸的一种或几种;

(4)向体系中充入高纯氮气或高纯氩气进行吹扫,即完成一个ALD生长循环;

重复(1)‑(4)若干次数,即可得到生长有NixC薄膜的衬底。

2.根据权利要求1所述的一种利用原子层沉积技术快速生长NixC薄膜的方法,其特征在于,沉积过程在真空条件下进行。

3.根据权利要求1或2所述的一种利用原子层沉积技术快速生长NixC薄膜的方法,其特征在于,所述衬底包括硅、氧化硅、氮化硅、TaN、SrTiO3中的一种或几种。

4.根据权利要求1~3任一所述的一种利用原子层沉积技术快速生长NixC薄膜的方法,其特征在于,以脉冲形式通入气相Ni前驱体的单个脉冲的持续时间为0.1~10s。

5.根据权利要求1~4任一所述的一种利用原子层沉积技术快速生长NixC薄膜的方法,其特征在于,气相Ni前驱体通入反应腔时,由载气带入,其中,所述载气为高纯氮气或高纯氩气,所述载气的流量为100~200sccm。

6.根据权利要求1~5任一所述的一种利用原子层沉积技术快速生长NixC薄膜的方法,其特征在于,步骤(2)中,高纯氮气或高纯氩气吹扫的时间为1~30s。

7.根据权利要求1~6任一所述的一种利用原子层沉积技术快速生长NixC薄膜的方法,其特征在于,所述步骤(3)中将气相碳源以脉冲形式通入反应腔的单个脉冲的持续时间为

0.01~5s。

8.根据权利要求1~7任一所述的一种利用原子层沉积技术快速生长NixC薄膜的方法,其特征在于,步骤(4)中,所述高纯氮气或高纯氩气吹扫的时间为0.5~20s。

9.权利要求1~8任一所述的一种利用原子层沉积技术快速生长NixC薄膜的方法在电能储存和电催化领域中的应用。