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专利号: 202011497305X
申请人: 张红
专利类型:发明专利
专利状态:授权未缴费
专利领域: 摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术〔4〕
更新日期:2024-06-18
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种芯片加工用设备,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的内部开设有空仓(2),所述底座(1)的上端固定连接有加工箱(3),所述加工箱(3)的上端固定安装有涂胶装置(4),所述加工箱(3)的内部通过隔板(5)隔设有涂胶仓(6)和设备仓(7),所述隔板(5)的上端通过支撑块固定连接有收料装置(8),所述收料装置(8)的内部上端固定安装有定位机构(9),所述收料装置(8)的底部转动连接有离心机构(10),所述离心机构(10)的上端和内部设有吸附机构(11),所述加工箱(3)的后侧内壁固定安装有推料机构(12),所述加工箱(3)的左侧固定安装有加热机构(13),所述加工箱(3)的正面铰接有箱门(14),所述加工箱(3)的右侧设有观察窗(15);

所述离心机构(10)包括离心盘(101)、转轴(102)、第一滚珠轴承(103)和驱动机构(104),所述第一滚珠轴承(103)转动连接在隔板(5)的内部,所述转轴(102)固定连接在第一滚珠轴承(103)的内部,所述离心盘(101)固定连接在所述转轴(102)的上端,所述转轴(102)的下端与驱动机构(104)固定连接;

所述收料装置(8)包括收料筒(81)、收料道(82)、排料管(83)、收料盒(84)、收料抽屉(85)和出料口(86),所述收料筒(81)固定连接在隔板(5)的上端,所述收料道(82)开设在收料筒(81)的内侧下端边缘,所述排料管(83)固定安装在所述收料筒(81)的下端,所述排料管(83)与收料道(82)相连通,所述收料盒(84)固定安装在底座(1)的上端左侧,所述收料抽屉(85)插接在收料盒(84)的内部,所述出料口(86)开设在收料筒(81)的前半部;

所述定位机构(9)包括固定块(91)、定位套筒(92)和限位环圈(93),所述固定块(91)固定连接在收料装置(8)的上端内壁,所述定位套筒(92)通过所述固定块(91)固定安装在收料装置(8)的内部,所述限位环圈(93)固定连接在定位套筒(92)的下端内壁;

所述吸附机构(11)包括吸盘(111)、吸气孔(112)、吸气道(113)、通腔(114)、第二滚珠轴承(115)、吸气管(116)和抽气泵(117),所述吸盘(111)固定连接在离心盘(101)的上端,所述吸气孔(112)开设在离心盘(101)的上端内部,所述吸气孔(112)与所述吸盘(111)相连通,所述吸气道(113)开设在离心盘(101)的内部,所述吸气道(113)与吸气孔(112)相连通,所述通腔(114)开设在所述转轴(102)的内部,所述通腔(114)贯穿转轴(102)的内部,所述第二滚珠轴承(115)固定连接在通腔(114)的下端内侧,所述吸气管(116)固定连接在滚珠轴承的内部,所述抽气泵(117)固定连接在空仓(2)的内侧顶部,所述吸气管(116)的下端伸入空仓(2)的内部与抽气泵(117)固定连接 ;

所述推料机构(12)包括固定架(121)、伸缩气缸(122)和推块(123),所述固定架(121)固定连接在加工箱(3)的内壁,所述伸缩气缸(122)通过所述固定架(121)固定安装在加工箱(3)的内侧,所述推块(123)固定连接在伸缩气缸(122)伸缩轴的端部,所述推块(123)下端的水平面与离心盘(101)上端的水平面相差两毫米;

胶水在硅片的表面凝固后利用推料机构(12)中的伸缩气缸(122)工作,伸缩气缸(122)工作推动推块(123)将硅片从离心盘(101)的上端从出料口(86)推出。

2.根据权利要求1所述的一种芯片加工用设备,其特征在于:所述涂胶装置(4)包括安装在所述加工箱(3)上端的装置本体(41),所述装置本体(41)的下端固定连接有涂胶头(42),所述涂胶头(42)的下端设在所述离心机构(10)的中心正上方。

3.根据权利要求1所述的一种芯片加工用设备,其特征在于:所述加热机构(13)包括风箱(131)、输风管(132)、加热箱(133)和输气管(134),所述风箱(131)固定安装在加工箱(3)的左侧,所述输风管(132)固定连接在风箱(131)的上端,所述加热箱(133)固定连接在加工箱(3)的左侧,所述加热箱(133)与所述输风管(132)固定连接,所述输气管(134)固定连接在加热箱(133)的上端,所述输气管(134)伸入涂胶仓(6)的内部,所述输气管(134)的外侧套接有保温棉套。

4.根据权利要求1所述的一种芯片加工用设备,其特征在于:所述驱动机构(104)包括驱动电机(1041)、主动齿轮(1042)和从动齿轮(1043),所述驱动电机(1041)固定安装在隔板(5)的下端,所述主动齿轮(1042)固定连接在驱动电机(1041)的输出轴端部,所述从动齿轮(1043)固定连接在转轴(102)的下端,所述主动齿轮(1042)和所述从动齿轮(1043)啮合连接。

5.一种芯片加工工艺,其特征在于:使用了如权利要求1-4任一所述的一种芯片加工用设备。