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专利号: 2020115326945
申请人: 北京航空航天大学杭州创新研究院
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2024-06-18
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种三明治结构触觉传感阵列制备方法,其特征在于,所述三明治结构触觉传感阵列依次包括上电极、敏感极和下电极,所述三明治结构触觉传感阵列制备方法包括:用乙醇擦洗基底,在洁净的基底上粘上双面胶;

使用激光在所述双面胶上直写预设的电极图案,去除相应区域的双面胶;

将电极浆料均匀涂覆在所述去除双面胶后的区域,确保电极浆料厚度与基底上剩余双面胶厚度一致;

将所述电极浆料加热固化,去除所述剩余双面胶的保护层,保留剩余双面胶的粘性层,得到带有双面胶粘性层的阵列化电极图案,作为所述上电极或下电极;

将所述敏感层两面分别对准所述上电极和下电极,通过上电极或下电极上所述剩余双面胶粘性层贴合在一起。

2.根据权利要求1所述的三明治结构触觉传感阵列制备方法,其特征在于,所述基底是柔性高分子、陶瓷、不锈钢、硅片、石英或玻璃。

3.根据权利要求1所述的三明治结构触觉传感阵列制备方法,其特征在于,所述激光的脉冲宽度是200fs~20ps,光斑直径是10μm~50μm,激光的功率是≤500mW,激光的扫描速度是100mm/s~500mm/s,激光加工次数是10次~800次。

4.根据权利要求1所述的三明治结构触觉传感阵列制备方法,其特征在于,所述双面胶是PI、PE或PET,厚度≤100μm。

5.根据权利要求1所述的三明治结构触觉传感阵列制备方法,其特征在于,所述将电极浆料均匀涂覆在所述去除双面胶后的区域,确保电极浆料厚度与基底上剩余双面胶厚度一致采用丝网印刷、喷墨打印、喷涂或刮刀法实现。

6.根据权利要求1所述的三明治结构触觉传感阵列制备方法,其特征在于,所述电极浆料为导电金属浆料、导电碳浆或导电聚合物。

7.根据权利要求1所述的三明治结构触觉传感阵列制备方法,其特征在于,所述加热固化的温度为60℃~150℃。

8.如权利要求1所述的三明治结构触觉传感阵列制备方法,其特征在于,所述阵列化电极图案的线宽≥50μm,线间距≥50μm。

9.如权利要求1所述的三明治结构触觉传感阵列制备方法,其特征在于,所述敏感层采用压阻材料、压电材料、电容材料、热阻材料或热电材料制成。

10.如权利要求1所述的三明治结构触觉传感阵列制备方法,其特征在于,敏感层由若干个独立传感单元组成。