1.一种柔性透明场发射冷阴极的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:(1)在柔性透明基底上沉积导电透明金膜;
(2)在沉积金膜的基底上附着AAO模板;
(3)利用真空物理沉积技术制备得spindt型金属阵列;
(4)去除AAO模板,得到场发射阴极材料。
2.根据权利要求1所述的柔性透明场发射冷阴极的制备方法,其特征在于,所制备的柔性透明场发射冷阴极包括:耐高透明柔性基底,导电层,以及沉积在导电层上的spindt型金属阵列。
3.根据权利要求1或2所述的柔性透明场发射冷阴极的制备方法,其特征在于,基底材料采用耐高温柔性透明材料。
4.根据权利要求1或2所述的柔性透明场发射冷阴极的制备方法,其特征在于,导电膜采用Au或ZAO,并且导电膜的厚度可调。
5.根据权利要求1或2所述的柔性透明场发射冷阴极的制备方法,其特征在于,在步骤(1)中,基底采用乙醇进行超声波清洗。
6.根据权利要求1或2所述的柔性透明场发射冷阴极的制备方法,其特征在于,在步骤(2)中,用滴管吸取适量乙醇,滴在基底上,在乙醇完全挥发前,将AAO模版贴附到基底上。
7.根据权利要求1或2所述的柔性透明场发射冷阴极的制备方法,其特征在于,在步骤(3)中,沉积技术选用磁控溅射技术、脉冲激光沉积技术或电子束蒸发技术任一种。
8.根据权利要求1或2所述的柔性透明场发射冷阴极的制备方法,其特征在于,在步骤(3)中,沉积的金属选择功函数较小的金属,其形状为spindt型。
9.根据权利要求7所述的柔性透明场发射冷阴极的制备方法,其特征在于,通过控制金属粒子的沉积速度,减少AAO模板孔洞迅速被堵的现象。
10.根据权利要求1或2所述的柔性透明场发射冷阴极的制备方法,其特征在于,步骤(4)中,选用胶带粘接法,直接将AAO粘掉,避免传统溶液腐蚀法对spindt型金属的影响。