欢迎来到知嘟嘟! 联系电话:13095918853 卖家免费入驻,海量在线求购! 卖家免费入驻,海量在线求购!
知嘟嘟
我要发布
联系电话:13095918853
知嘟嘟经纪人
收藏
专利号: 2020115968792
申请人: 宋乐
专利类型:发明专利
专利状态:授权未缴费
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2024-02-23
缴费截止日期: 暂无
价格&联系人
年费信息
委托购买

摘要:

权利要求书:

1.一种电源芯片制造用晶圆晶粒针刺检测装置,包括操作台(1),其特征在于:所述操作台(1)的顶部固定连接有固定盘(2),所述操作台(1)的底部固定连接有四个支柱(3),四个所述支柱(3)的一侧均固定连接有支撑连接杆(4),四个所述支撑连接杆(4)的顶部固定连接有同一个固定底盘(5),所述固定底盘(5)的顶部固定连接有驱动电机(6),所述驱动电机(6)的输出端固定连接有联轴器,所述联轴器的一端固定连接有旋转轴(10),所述固定盘(2)的顶部开设有定位槽(7),所述操作台(1)的顶部开设有转孔(8),所述旋转轴(10)的一端延伸至所述转孔(8)的外侧,所述驱动电机(6)的一侧固定连接有电机控制器(9),所述旋转轴(10)的顶端固定连接有载物盘(11),所述载物盘(11)的顶部固定连接有两个垂直固定块(12),其中一个所述垂直固定块(12)的一侧固定连接有固定杆(13),另一个所述垂直固定块(12)的一侧开设有滑孔,所述滑孔内滑动套接有定位栓(14),所述定位栓(14)的两端分别贯穿所述滑动,且延伸至所述垂直固定块(12)的外侧;

所述定位栓(14)的一端固定连接有拉盘(15),所述定位栓(14)与所述固定杆(13)相互靠近的一端均固定连接有U型夹具(16),所述定位栓(14)的一侧固定连接有夹紧弹簧(17),所述夹紧弹簧(17)的两端分别与所述拉盘(15)和其中一个所述垂直固定块(12)相连接,两个所述U型夹具(16)相互靠近的一侧设有同一个待检测晶圆(18),所述待检测晶圆(18)的顶部固定连接有多个分布均匀的晶粒(19),所述操作台(1)的顶部固定连接有气泵(20);

所述气泵(20)的一侧固定连接有两个启停控制器(50),所述固定盘(2)的顶部固定连接有两个固定底座(21),两个所述固定底座(21)的位置均与所述定位槽(7)的位置相对应,两个所述固定底座(21)的一侧均固定套接有检测臂(22),两个所述检测臂(22)的底端均延伸至所述定位槽(7)内,且均与所述定位槽(7)的底部内壁相连接,两个所述检测臂(22)的一端均固定连接有气动滑动杆(23);

两个所述气动滑动杆(23)的一端均固定连接有检测针头(24),两个所述检测针头(24)分别与两个检测臂(22)之间电性连接,两个所述检测针头(24)的位置均与多个所述晶粒(19)的位置相对应,两个所述检测臂(22)的一侧均固定连接有驱动管(25),两个所述驱动管(25)的一端均延伸至所述气泵(20)内,两个所述检测针头(24)的一侧均固定套接有连接盘(26);

两个所述连接盘(26)的底部均固定连接有两个连接柱(27),四个所述连接柱(27)的底端均固定连接有摄像头(28),两个所述气动滑动杆(23)的一侧均固定套接有束线套(29),两个所述束线套(29)的一侧均开设有束线孔(30),所述操作台(1)的顶部固定连接有位置处理器(31)和两个小立柱(32),两个所述小立柱(32)的位置均匀所述位置处理器(31)的位置相对应;

两个所述小立柱(32)的一侧均开设有通孔,所述位置处理器(31)的顶部固定连接有两个位置传导线(33),两个所述位置传导线(33)的一端均延伸至所述通孔外侧,且分别与两个所述连接盘(26)相连接,所述位置处理器(31)的一侧固定连接有驱动传导线(34),所述驱动传导线(34)的一端与所述电机控制器(9)相连接;

所述固定盘(2)的顶部开设有两个限位凹槽(35),两个所述限位凹槽(35)均与所述定位槽(7)相连通,两个所述限位凹槽(35)内均固定连接有固定基座(36),两个所述固定基座(36)的顶部均固定连接有微型气缸(37),两个所述微型气缸(37)的一端均固定连接有伸缩杆(38),两个所述伸缩杆(38)的一端均固定连接有弧形限位板(39);

两个所述弧形限位板(39)的一侧均与所述待检测晶圆(18)的一侧相贴合,所述固定盘(2)的一侧内壁固定连接有四个安装柱(40),四个所述安装柱(40)的一端均固定连接有定位器(41),同一侧的两个所述安装柱(40)相互靠近的一侧均固定连接有数据连接线(42),所述固定盘(2)的顶部固定连接有定位处理器(43)。

2.根据权利要求1所述的一种电源芯片制造用晶圆晶粒针刺检测装置,其特征在于:所述定位处理器(43)的顶部固定连接有定位传导线(44),所述定位传导线(44)的一端与其中一个所述安装柱(40)相连接,两个所述微型气缸(37)的一侧均固定连接有接收器(45),所述定位处理器(43)的一侧固定连接有指令导线(46),所述指令导线(46)的两端均与所述接收器(45)相连接,所述定位处理器(43)的一侧固定连接有第一启停导线(47);所述位置处理器(31)的一侧固定连接有第二启停导线(48),所述第一启停导线(47)与所述第二启停导线(48)的一端分别与两个所述启停控制器(50)相连接,所述操作台(1)的底部固定连接有两个束线块(49),两个所述束线块(49)的一侧均开设有对孔,所述驱动传导线(34)的一端贯穿两个所述对孔。