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专利号: 2020115993953
申请人: 西安理工大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种基于光学干涉原理的静电扫描测量系统,其特征在于,包括有可视化箱体(1)、试样放置平台、放电平台、静电测试平台和上机位;可视化箱体(1)内部的底面设置有试样放置平台,试样放置平台的一端连接有静电测试平台,试样放置平台的另一端连接有放电平台。

2.根据权利要求1所述的一种基于光学干涉原理的静电扫描测量系统,其特征在于,所述的可视化箱体(1)上设有密封插件接口。

3.根据权利要求1所述的一种基于光学干涉原理的静电扫描测量系统,其特征在于,所述的密封插件接口包括步进电机密封接口,放电棒电源接口和静电测量棒接口。

4.根据权利要求1所述的一种基于光学干涉原理的静电扫描测量系统,其特征在于,所述的试样放置平台包括龙门支架a(5),龙门支架a(5)上设置有X轴导轨,X轴导轨上设置有铜盘电极(20),铜盘电极(20)的侧壁连接有X轴步进电机(14),X轴步进电机(14)与设置于可视化箱体上的步进电机密封接口(2)连接,步进电机控制密封接口与上位机连接。

5.根据权利要求1所述的一种基于光学干涉原理的静电扫描测量系统,其特征在于,所述的放电平台包括龙门支架b(6),龙门支架b(6)的一端与龙门支架a(5)的另一端垂直连接,龙门支架b的另一端上水平设置有Y1轴导轨(7),Y1轴导轨(7)通过连接件a(9)与放电装置连接,放电装置上的外部电源接线柱与设置于可视化箱体上的放电棒电源接口连接,放电棒电源接口与电源连接。

6.根据权利要求5所述的一种基于光学干涉原理的静电扫描测量系统,其特征在于,所述的放电装置由钼丝(10)、聚四氟乙烯支架(12)和外部电源接线柱(11)组成;用聚四氟乙烯支架将钼丝的两端固定住,其中钼丝的右端接在外部电源接线柱上。

7.根据权利要求1所述的一种基于光学干涉原理的静电扫描测量系统,其特征在于,所述的静电测量平台包括龙门支架c(13),龙门支架c的一端与龙门支架a(5)的一端垂直连接,龙门支架c的另一端上水平设置有Y2轴导轨(15),Y2轴导轨(15)通过连接件b(17)与静电测量棒(18)连接,连接件b(17)的侧壁连接有Y2轴步进电机(16),Y2轴步进电机与步进电机密封接口(2)连接,静电测量棒(18)与设置于可视化箱体(1)上的静电测量棒接口连接,静电测量棒接口与光纤传感器连接,光纤传感器与多通道光纤解调器连接,多通道光纤解调器与上机位连接。

8.根据权利要求1所述的一种基于光学干涉原理的静电扫描测量系统,其特征在于,所述的可视化箱体的侧壁上设置有箱体移动把手。

9.根据权利要求7所述的一种基于光学干涉原理的静电扫描测量系统,其特征在于,所述的静电测量棒由铜片和聚四氟乙烯材料组合而成。