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专利号: 2020206678175
申请人: 重庆秉穗科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
专利领域: 磨削;抛光
更新日期:2024-08-25
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种半导体材料研磨抛光机,包括底座(1),其特征在于,所述底座(1)的上端面对称固定连接有两个竖板(4),两个所述竖板(4)相对的一侧均设置有抛光机构,两个所述竖板(4)相对的一侧对称设置有两个夹持机构,每个所述夹持机构均包括两个限位板(2),两个所述限位板(2)对称固定安装在两个竖板(4)的侧壁上,每个所述限位板(2)上均开设有限位滑孔(13),每个所述限位滑孔(13)内均竖直设置有滑板(14),所述滑板(14)滑动连接在限位滑孔(13)内,所述滑板(14)的上端固定安装有螺纹块(12),所述滑板(14)的下端通过连接杆固定连接有夹块(11),两个所述螺纹块(12)之间共同穿插有转动杆(3),所述转动杆(3)上对称设置有两段方向相反的螺纹段(10),每个所述螺纹段(10)均与螺纹块(12)之间螺纹连接,所述螺纹块(12)的右端贯穿竖板(4)的侧壁固定连接有蜗轮(9),两个所述蜗轮(9)上共同设置有驱动机构。

2.根据权利要求1所述的一种半导体材料研磨抛光机,其特征在于,每个所述抛光机构均包括伸缩气缸(15),两个所述伸缩气缸(15)对称固定安装在两个竖板(4)相对的一侧,每个所述伸缩气缸(15)的输出端均固定安装有抛光机本体(7),每个所述抛光机本体(7)的输出端均固定安装有抛光盘(6)。

3.根据权利要求1所述的一种半导体材料研磨抛光机,其特征在于,所述驱动机构包括伺服电机(5),所述伺服电机(5)固定安装在底座(1)内,所述伺服电机(5)的输出端固定连接有蜗杆(8),所述蜗杆(8)与两个蜗轮(9)啮合连接。

4.根据权利要求1所述的一种半导体材料研磨抛光机,其特征在于,两个所述夹块(11)相对的一侧均设置有防滑垫,所述防滑垫上均设置有防滑纹。

5.根据权利要求1所述的一种半导体材料研磨抛光机,其特征在于,所述转动杆(3)的左端均转动连接在竖板(4)的侧壁上,所述转动杆(3)的另一端贯穿竖板(4)的侧壁并转动连接在竖板(4)内。