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专利号: 2020212144067
申请人: 西安和光明宸科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2024-02-23
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种半导体芯片测试探针台,包括工作台(1),其特征在于,所述工作台(1)的上端固定连接有夹紧机构(2),所述工作台(1)的上端开设有凹槽(3),所述工作台(1)的下端固定连接有多根支撑柱(4),多根所述支撑柱(4)之间固定连接有同一个驱动机构(5),所述驱动机构(5)的上端贯穿于工作台(1)的下端设置并延伸至凹槽(3)内,所述驱动机构(5)的上端与夹紧机构(2)的下端相接触。

2.根据权利要求1所述的一种半导体芯片测试探针台,其特征在于,所述夹紧机构(2)包括固定设置于工作台(1)上端的竖杆(6),所述竖杆(6)的上端转动连接有横杆(7),所述横杆(7)的下端转动连接有压杆(8),所述压杆(8)上套设有限位杆(9),所述限位杆(9)的侧壁与竖杆(6)的侧壁固定连接设置,所述压杆(8)的下端固定连接有缓冲块(10),所述缓冲块(10)与驱动机构(5)的上端相接触,所述压杆(8)上同轴固定连接有固定块(11),所述固定块(11)的下端固定连接有弹簧(12),所述弹簧(12)套设于压杆(8)上,所述弹簧(12)的下端与限位杆(9)的上端固定连接设置,所述横杆(7)的侧壁上固定连接有手柄(13),所述手柄(13)上螺纹贯穿连接有螺栓(14),所述螺栓(14)的下端与工作台(1)的上端螺纹连接设置。

3.根据权利要求2所述的一种半导体芯片测试探针台,其特征在于,所述工作台(1)的上端开设有与螺栓(14)相匹配的螺纹孔,所述螺栓(14)的下端螺纹设置于螺纹孔内。

4.根据权利要求2所述的一种半导体芯片测试探针台,其特征在于,所述螺栓(14)的上端固定连接有驱动块。

5.根据权利要求2所述的一种半导体芯片测试探针台,其特征在于,所述驱动机构(5)包括固定设置于多根支撑柱(4)之间的同一块底板(15),所述底板(15)的上端固定连接有驱动电机(16),所述驱动电机(16)的输出端垂直固定连接有转轴(17),所述转轴(17)的上端贯穿于工作台(1)的下端设置并延伸至凹槽(3)内,所述转轴(17)的上端固定连接有转盘(18),所述转盘(18)设置于凹槽(3)内,所述转盘(18)的上端与缓冲块(10)的下端相接触。