欢迎来到知嘟嘟! 联系电话:13095918853 卖家免费入驻,海量在线求购! 卖家免费入驻,海量在线求购!
知嘟嘟
我要发布
联系电话:13095918853
知嘟嘟经纪人
收藏
专利号: 2020222926268
申请人: 江苏金圣硅基新材料研究院有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
专利领域: 清洁
更新日期:2024-02-23
缴费截止日期: 暂无
价格&联系人
年费信息
委托购买

摘要:

权利要求书:

1.一种具备除尘功能的等离子体刻蚀机,包括刻蚀机本体(1),其特征在于:所述刻蚀机本体(1)的正面设置有放置槽(2),所述放置槽(2)内腔的顶部固定连接有气箱(3),所述放置槽(2)内腔的底部固定连接有工作台(4),所述刻蚀机本体(1)的内腔固定连接有挡板(5),所述挡板(5)的顶部固定连接有液压伸缩缸(6),所述液压伸缩缸(6)的顶部固定连接有除尘机构(7),所述挡板(5)顶部的右侧固定连接有风机(8),所述风机(8)的进风口连通有除尘箱(9),所述除尘箱(9)的内腔设置有过滤网(10),所述除尘箱(9)左侧的顶部连通有软管(11)。

2.根据权利要求1所述的一种具备除尘功能的等离子体刻蚀机,其特征在于:所述工作台(4)的顶部设置有凹槽(12),所述工作台(4)的顶部设置有通槽(13)。

3.根据权利要求1所述的一种具备除尘功能的等离子体刻蚀机,其特征在于:所述除尘机构(7)包括气腔(71)和吸气孔(72),所述液压伸缩缸(6)的顶部固定连接有气腔(71),所述气腔(71)的内腔设置有吸气孔(72),所述气腔(71)的形状为圆环形。

4.根据权利要求1所述的一种具备除尘功能的等离子体刻蚀机,其特征在于:所述过滤网(10)的正面与背面均固定连接有滑块(14),所述滑块(14)的顶部与底部均固定连接有滑轮(15),所述滑轮(15)的另一侧滑动连接有滑轨(16)。

5.根据权利要求1所述的一种具备除尘功能的等离子体刻蚀机,其特征在于:所述过滤网(10)的右侧固定连接有连接板(17),所述刻蚀机本体(1)的正面设置有密封门(18)。