1.一种用于多腔室处理的晶圆片传递装置，包括下板(2)，所述下板(2)正上方设置有上板(3)，所述下板(2)和上板(3)之间设置有存放槽(1)，其特征在于，所述存放槽(1)一侧固定有连接板(19)，所述下板(2)上方安装有电机(17)，所述电机(17)上方连接有螺纹杆(18)，所述螺纹杆(18)一端穿过连接板(19)并转动连接在上板(3)下方，所述螺纹杆(18)与连接板(19)之间通过螺纹连接，所述存放槽(1)两侧均固定有侧板(15)，所述下板(2)上方两侧均固定有滑杆(16)，且滑杆(16)一端穿过侧板(15)并固定在上板(3)下方，所述存放槽(1)内放置有多个晶圆片(4)，所述存放槽(1)底部一侧开设有开口(5)，所述开口(5)内设置有限位机构(6)，所述存放槽(1)内壁两侧均固定有套管(10)，所述套管(10)内插设有插杆(12)，所述插杆(12)一端穿过套管(10)并固定有内滑板(7)，且内滑板(7)与晶圆片(4)相抵触，所述插杆(12)另一端固定有内弹簧(11)，所述内弹簧(11)一端固定在套管(10)底部。

2.根据权利要求1所述的一种用于多腔室处理的晶圆片传递装置，其特征在于，所述限位机构包括凹槽(61)和插槽(62)，所述凹槽(61)开设在开口(5)侧壁，所述插槽(62)开设在开口(5)另一侧壁，所述凹槽(61)内插设有挡板(63)，所述挡板(63)一端穿过开口(5)并插设在插槽(62)内，所述挡板(63)另一端两侧均固定有弹簧(64)，所述弹簧(64)一端固定在侧壁，所述凹槽(61)侧壁的两侧均开设有侧滑孔(67)，所述挡板(63)侧壁两侧均固定有支杆(65)，所述支杆(65)一端穿过侧滑孔(67)并固定有拉板(66)。

3.根据权利要求1所述的一种用于多腔室处理的晶圆片传递装置，其特征在于，所述内滑板(7)一侧固定有橡胶垫(8)。

4.根据权利要求1所述的一种用于多腔室处理的晶圆片传递装置，其特征在于，所述内滑板(7)上方固定有拉把手(9)。

5.根据权利要求1所述的一种用于多腔室处理的晶圆片传递装置，其特征在于，所述套管(10)两侧均开设有滑孔(13)，所述插杆(12)两侧均固定有限位滑板(14)，且限位滑板(14)一端穿过滑孔(13)并向外延伸。