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专利号: 2020223048646
申请人: 苏州百克晶电子科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2024-07-22
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种晶圆片切割装置的承载台,包括安装板(1),其特征在于,所述安装板(1)的顶端四角开设有安装孔(2),所述安装板(1)的顶端中部安装有伸缩气缸(3),所述伸缩气缸(3)的顶端安装有固定板(4),所述固定板(4)的底端位于伸缩气缸(3)的外侧焊接有第一磁铁(5),所述安装板(1)的顶端位于伸缩气缸(3)的外侧焊接有第二磁铁(6),所述固定板(4)的顶端两两对称开设有通孔(7),所述通孔(7)内贯穿有固定杆(8),所述固定杆(8)下方的外表面滑动连接有支撑杆(9),所述支撑杆(9)的底端焊接在安装板(1)的顶端,所述支撑杆(9)的顶端开设有与固定杆(8)相配合的滑槽(10),所述滑槽(10)的内部底端焊接有弹簧(11),所述弹簧(11)的一端焊接在固定杆(8)的底端中部,所述固定杆(8)的顶端焊接有减震杆(12),所述减震杆(12)的顶端焊接有放置板(13),所述放置板(13)的中部安装有废屑收集机构。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆片切割装置的承载台,其特征在于,所述废屑收集机构包括开设在放置板(13)中部的卡槽(14),所述卡槽(14)内卡接有过滤网(15),所述卡槽(14)底端的正下方放置有收集箱(16)。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆片切割装置的承载台,其特征在于,所述收集箱(16)的顶端与放置板(13)的底端相接触,所述收集箱(16)的底端放置在固定板(4)的顶端。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆片切割装置的承载台,其特征在于,所述支撑杆(9)的顶端与固定板(4)的底端相接触。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆片切割装置的承载台,其特征在于,所述第二磁铁(6)与第一磁铁(5)同性相斥。