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专利号: 2020223679022
申请人: 王莉
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
专利领域: 一般的物理或化学的方法或装置
更新日期:2024-04-03
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种蚀刻机废气处理装置,包括处理柜(1)、第一排气管(2)、水处理套(9)、抽气扇(8)和轴流风机(4),其特征在于,所述处理柜(1)内顶部通过箍筋架设安装有第一排气管(2),所述处理柜(1)一端开设有抽气口(7),所述抽气口(7)内通过螺栓安装有抽气扇(8),所述处理柜(1)另一端连接有第二排气管(5),所述抽气口(7)排气端上套接有水处理套(9),所述水处理套(9)内壁固定安装有分水管(10),所述分水管(10)出水端安装有喷头(11),所述水处理套(9)顶部设有出气套(3),所述水处理套(9)一端开设有出气口(13),所述出气套(3)进气端通过L型气管(14)与水处理套(9)的出气口(13)连接,所述第一排气管(2)进气端与出气套(3)的出气端连接,所述水处理套(9)底部排水端连接有废水箱(12)。

2.根据权利要求1所述的一种蚀刻机废气处理装置,其特征在于:所述L型气管(14)进气端内的顶部和底部分布交错安装有竖向挡水板(15),所述L型气管(14)出气端内交错排布安装有倾斜式挡水板(18),所述L型气管(14)内且位于倾斜式挡水板(18)顶部安装有挡水网(19)。

3.根据权利要求1所述的一种蚀刻机废气处理装置,其特征在于:所述处理柜(1)内一侧通过螺栓安装有水泵(21),所述水泵(21)的出水端通过管道与分水管(10)进水端连接。

4.根据权利要求1所述的一种蚀刻机废气处理装置,其特征在于:所述第一排气管(2)另一端套接有轴流风机(4)。

5.根据权利要求1所述的一种蚀刻机废气处理装置,其特征在于:所述处理柜(1)一侧底部通过铰链安装有开关门(17),所述处理柜(1)一侧顶部通过螺栓安装有检修盖(16)。

6.根据权利要求1所述的一种蚀刻机废气处理装置,其特征在于:所述废水箱(12)底部一侧设有放水口,所述处理柜(1)底部通过螺栓安装有可制动万向轮。

7.根据权利要求1所述的一种蚀刻机废气处理装置,其特征在于:所述L型气管(14)底部依次开设排水嘴(20)。

8.根据权利要求1所述的一种蚀刻机废气处理装置,其特征在于:所述第一排气管(2)的出气端与第二排气管(5)进气端连接,所述第二排气管(5)上套接有单向阀(6)。