1.一种机械手臂，其特征在于，包括降温组件、固定座以及手臂本体，所述手臂本体转动连接于所述固定座上，所述手臂本体上包括有承载部，所述降温组件设于所述承载部上，用于对放置于所述承载部上的工件降温。

2.根据权利要求1所述的机械手臂，其特征在于，所述降温组件为冷却风扇，所述冷却风扇用于朝向所述承载部上的所述工件吹送气流。

3.根据权利要求2所述的机械手臂，其特征在于，所述冷却风扇包括多个，且多个冷却风扇均匀分布于所述承载部上。

4.根据权利要求2或3所述的机械手臂，其特征在于，所述承载部设有容置槽，所述冷却风扇收容于所述容置槽内。

5.根据权利要求4所述的机械手臂，其特征在于，所述冷却风扇靠近所述工件的一面低于所述容置槽的槽口。

6.根据权利要求1所述的机械手臂，其特征在于，所述手臂本体包括与所述固定座转动连接的伸缩臂以及与所述伸缩臂连接的支撑体，所述承载部设于所述支撑体上。

7.根据权利要求6所述的机械手臂，其特征在于，所述伸缩臂包括依次转动连接的第一主动臂、第一从动臂、第二从动臂以及第二主动臂，且所述第一主动臂远离所述第一从动臂的一端与所述固定座转动连接，所述第二主动臂远离所述第二从动臂的一端与所述固定座转动连接，所述支撑体连接于所述第一从动臂与所述第二从动臂的连接处。

8.根据权利要求1所述的机械手臂，其特征在于，所述固定座包括座本体和转动连接于所述座本体上的转轴，所述手臂本体和所述转轴连接。

9.根据权利要求1所述的机械手臂，其特征在于，所述承载部上还设有限位件，所述限位件用于限制所述工件在所述承载部上的水平易位。

10.一种半导体加工设备，其特征在于，包括反应腔室、冷却室以及如权利要求1至9中任意一项所述的机械手臂，所述机械手臂设于所述反应腔室与所述冷却室之间，用于将所述反应腔室内的工件转移至所述冷却室。