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专利号: 2020233158727
申请人: 莱糸真空科技(常州)有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
专利领域: 液体变容式机械;液体泵或弹性流体泵
更新日期:2024-05-10
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种用于真空镀膜的真空油扩散泵,包括泵体(1),其特征在于:所述泵体(1)的上端固定安装有清洗壳体(2),所述清洗壳体(2)的内部中轴位置固定安装有固定座(12),所述固定座(12)的下端面上旋转安装有连通座(13),所述连通座(13)与固定座(12)内部相通,所述连通座(13)的外表面上设置有同步带轮槽,所述清洗壳体(2)的内壁上固定安装有交流电机(15),所述交流电机(15)的旋转轴一端固定安装有同步带轮,且同步带轮的外部套接有传动皮带(16),所述传动皮带(16)的另一端套接在连通座(13)外表面上的同步带轮槽内,所述连通座(13)下端外表面的中轴位置处固定连接有第二清洗管(14),所述第二清洗管(14)的外表面上安装有清洗喷嘴(18)。

2.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜的真空油扩散泵,其特征在于:所述泵体(1)的内部中轴位置处设置有泵芯(3),所述泵体(1)内部底端外表面的中轴位置处固定安装有第一清洗管(5),所述第一清洗管(5)置于泵芯(3)内部中轴位置处,所述第一清洗管(5)的外表面上固定安装有清洗喷嘴(18),所述第一清洗管(5)的进水端以及固定座(12)的上端外表面上均安装有清洗软管(11)。

3.根据权利要求2所述的一种用于真空镀膜的真空油扩散泵,其特征在于:所述泵体(1)的内部底端盛装有扩散泵油(9),且扩散泵油(9)位于泵芯(3)下端,所述泵体(1)的内壁上固定安装有电阻加热管(4),所述电阻加热管(4)浸泡在扩散泵油(9)的内部。

4.根据权利要求2所述的一种用于真空镀膜的真空油扩散泵,其特征在于:所述泵芯(3)的外表面上设置有多个喷射嘴(17),且喷射嘴(17)的喷射方向倾斜朝下,所述泵芯(3)的外表面上设置有第一排气管(7),所述泵体(1)的外表面上固定连接有第二排气管(8),所述第一排气管(7)的出气端与第二排气管(8)的进气端位置对应。

5.根据权利要求4所述的一种用于真空镀膜的真空油扩散泵,其特征在于:所述第二排气管(8)和泵体(1)的外表面上均设置有冷凝管(10),所述冷凝管(10)螺旋分布。

6.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜的真空油扩散泵,其特征在于:所述泵体(1)的下端外表面上固定连接有排料管(6),所述排料管(6)的管路中固定安装有阀门。