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专利号: 2021100080275
申请人: 西京学院
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕
更新日期:2024-11-18
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种柔性透明太阳能水解光电极的制备方法,其特征在于,该制备方法包含:

(1)以氧化锌作为靶材,以白云母作为基板,采用磁控溅射法在基板上制备氧化锌缓冲层,在惰性气体环境下进行,磁控溅射温度为350~500℃,压力为1~3Pa,溅射电压为600V,溅射功率为90~110W;

(2)将镀有氧化锌缓冲层的基板在真空环境下热至400℃,并通入1:1的氩气和氧气的混合气体,以50W的功率预镀,然后以氧化铟锡为靶材采用磁控溅射法在基板上制备氧化铟锡层,将氧化铟锡镀在氧化锌缓冲层上,溅射电压为600V,溅射功率为90~110W,氧化铟锡中氧化铟与二氧化锡的质量比为9:1;

(3)以钛酸锶为靶材,利用脉冲激光沉积法在基板上制备钛酸锶薄膜,将钛酸锶薄膜沉2

积在氧化铟锡层上,靶材表面的能量密度为1.5J/cm ,脉冲频率为10Hz,沉积过程中通入1:

1的氩气和氧气的混合气体,沉积温度为600~660℃。

2.根据权利要求1所述的柔性透明太阳能水解光电极的制备方法,其特征在于,在步骤(1)中,磁控溅射温度为350℃,磁控溅射压力为3Pa,溅射电压为600V,溅射功率为90W;在步骤(2)中,溅射电压为600V,溅射功率为110W;在步骤(3)中,沉积温度为600℃。

3.根据权利要求1所述的柔性透明太阳能水解光电极的制备方法,其特征在于,在步骤(1)中,磁控溅射温度为400℃,磁控溅射压力为2Pa,溅射电压为600V,溅射功率为100W;在步骤(2)中,溅射电压为600V,溅射功率为90W;在步骤(3)中,沉积温度为630℃。

4.根据权利要求1所述的柔性透明太阳能水解光电极的制备方法,其特征在于,在步骤(1)中,磁控溅射温度为500℃,磁控溅射压力为1Pa,溅射电压为600V,溅射功率为110W;在步骤(2)中,溅射电压为600V,溅射功率为100W;在步骤(3)中,沉积温度为660℃。

5.如权利要求1‑4中任意一项所述的方法制备的柔性透明太阳能水解光电极。