1.一种柔性透明太阳能水解光电极的制备方法,其特征在于,该制备方法包含:
(1)以氧化锌作为靶材,以白云母作为基板,采用磁控溅射法在基板上制备氧化锌缓冲层,在惰性气体环境下进行,磁控溅射温度为350~500℃,压力为1~3Pa,溅射电压为600V,溅射功率为90~110W;
(2)将镀有氧化锌缓冲层的基板在真空环境下热至400℃,并通入1:1的氩气和氧气的混合气体,以50W的功率预镀,然后以氧化铟锡为靶材采用磁控溅射法在基板上制备氧化铟锡层,将氧化铟锡镀在氧化锌缓冲层上,溅射电压为600V,溅射功率为90~110W,氧化铟锡中氧化铟与二氧化锡的质量比为9:1;
(3)以钛酸锶为靶材,利用脉冲激光沉积法在基板上制备钛酸锶薄膜,将钛酸锶薄膜沉2
积在氧化铟锡层上,靶材表面的能量密度为1.5J/cm ,脉冲频率为10Hz,沉积过程中通入1:
1的氩气和氧气的混合气体,沉积温度为600~660℃。
2.根据权利要求1所述的柔性透明太阳能水解光电极的制备方法,其特征在于,在步骤(1)中,磁控溅射温度为350℃,磁控溅射压力为3Pa,溅射电压为600V,溅射功率为90W;在步骤(2)中,溅射电压为600V,溅射功率为110W;在步骤(3)中,沉积温度为600℃。
3.根据权利要求1所述的柔性透明太阳能水解光电极的制备方法,其特征在于,在步骤(1)中,磁控溅射温度为400℃,磁控溅射压力为2Pa,溅射电压为600V,溅射功率为100W;在步骤(2)中,溅射电压为600V,溅射功率为90W;在步骤(3)中,沉积温度为630℃。
4.根据权利要求1所述的柔性透明太阳能水解光电极的制备方法,其特征在于,在步骤(1)中,磁控溅射温度为500℃,磁控溅射压力为1Pa,溅射电压为600V,溅射功率为110W;在步骤(2)中,溅射电压为600V,溅射功率为100W;在步骤(3)中,沉积温度为660℃。
5.如权利要求1‑4中任意一项所述的方法制备的柔性透明太阳能水解光电极。