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专利号: 2021100117316
申请人: 河南大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 基本电气元件
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种ZnCdS薄膜的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:将可溶性镉盐、氨水和硫源依次溶于水中,得到混合溶液;所述混合溶液中硫源的浓度为1.0mol/L;

将基底置于所述混合溶液中,向所述混合溶液中滴加锌盐水溶液,进行化学水浴沉积,

2+ 2+

在基底的表面形成ZnCdS薄膜;所述混合溶液中Cd 的浓度与滴加的锌盐水溶液中Zn 的浓

2+

度比为1:(50~75);所述锌盐水溶液中Zn 的浓度为0.01mol/L;所述锌盐水溶液和混合溶液的体积比为2:23;所述化学水浴沉积的温度为60~70℃。

2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述混合溶液中氨水的浓度为

1.8mol/L。

3.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述可溶性镉盐包括硫酸镉;所述锌盐水溶液中的锌盐包括硫酸锌;所述硫源包括硫脲。

4.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述化学水浴沉积的时间为10~

20min。

5.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述锌盐水溶液的滴加速度为4mL/min。

6.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述ZnCdS薄膜的厚度为60~70nm。

7.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述化学水浴沉积完成后,还包括将沉积有ZnCdS薄膜的基底分别用去离子水和无水乙醇依次进行冲洗,冲洗干净后烘干。

8.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,将基底置于所述混合溶液中的操作方法为:将基底垂直放置在聚四氟乙烯支架上,再将支架和基底一起放置于混合溶液中。

9.一种铜锌锡硫硒太阳电池的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:用直流磁控溅射在钠钙玻璃表面沉积背电极Mo层;

在所述背电极Mo层表面沉积CZTSSe吸收层;

采用权利要求1~8任一项所述的制备方法在CZTSSe吸收层表面制备ZnCdS薄膜,作为缓冲层;

用射频磁控溅射在所述缓冲层表面制备本征ZnO层;

用射频磁控溅射在所述ZnO层表面沉积ITO窗口层;

用热蒸发在所述ITO窗口层上沉积Ag栅极,得到铜锌锡硫硒太阳电池。