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专利号: 2021100175928
申请人: 泉芯集成电路制造(济南)有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术〔4〕
更新日期:2025-03-29
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种目标图形获取方法,其特征在于,所述方法包括:获取原始图形的参数,其中,所述原始图形中包括多个图形条,所述原始图形的参数包括每个图形条的宽度及相邻两个图形条之间的间距;

依据所述每个图形条的宽度及相邻两个图形条之间的间距对所述图形进行分区,并确定目标区域;

在掩膜板与目标区域对应的位置增设散射条,以通过所述掩膜板在晶圆上刻蚀出目标图形,其中,所述目标图形与所述原始图形相同。

2.如权利要求1所述的目标图形获取方法,其特征在于,所述依据所述每个图形条的宽度及相邻两个图形条之间的间距对所述图形进行分区,并确定目标区域的步骤包括:当所述图形条的宽度处于预设的第一区间,且相邻两个图形条之间的间距处于第二区间时,确定所述图形条所处的区域为非目标区域;

当所述图形条的宽度处于预设的第一区间,且相邻两个图形条之间的间距处于第三区间时,确定所述图形条所处的区域为目标区域;

当所述图形条的宽度处于预设的第四区间,且相邻两个图形条之间的间距处于第五区间时,确定所述图形条所处的区域为非目标区域;

当所述图形条的宽度处于预设的第四区间,且相邻两个图形条之间的间距处于第五区间时,确定所述图形条所处的区域为目标区域;

当所述图形条的宽度处于预设的第六区间时,确定所述图形条所处的区域为非目标区域。

3.如权利要求2所述的目标图形获取方法,其特征在于,所述依据所述每个图形条的宽度及相邻两个图形条之间的间距对所述图形进行分区,并确定目标区域的步骤包括:当所述图形条的宽度为35nm~45nm,且相邻两个图形条之间的间距小于或等于70nm时,确定所述图形条所处的区域为非目标区域;

当所述图形条的宽度为35nm~45nm,且相邻两个图形条之间的间距大于70nm时,确定所述图形条所处的区域为目标区域;

当所述图形条的宽度为45nm~55nm,且相邻两个图形条之间的间距小于或等于85nm时,确定所述图形条所处的区域为非目标区域;

当所述图形条的宽度为45nm~55nm,且相邻两个图形条之间的间距大于85nm时,确定所述图形条所处的区域为目标区域;

当所述图形条的宽度大于或等于55nm时,确定所述图形条所处的区域为目标区域。

4.如权利要求1所述的目标图形获取方法,其特征在于,在依据所述每个图形条的宽度及相邻两个图形条之间的间距对所述图形进行分区,并确定目标区域的步骤之后,所述方法还包括:

判断所述目标区域是否能够加入散射条;

若能,则在掩膜板与目标区域对应的位置增设散射条;

若不能,则对所述目标区域进行填充。

5.如权利要求4所述的目标图形获取方法,其特征在于,在对所述目标区域进行填充的步骤之前,所述方法还包括:

判断所述目标区域是否处于图形的拐弯处;

若是,则对所述目标区域进行填充,以使所述目标区域内的图形条的宽度达到预设宽度。

6.如权利要求5所述的目标图形获取方法,其特征在于,所述对所述目标区域进行填充,以使所述目标区域内的图形条的宽度达到预设宽度的步骤包括:对所述目标区域进行填充,以使所述目标区域内的图形条的宽度达到55nm。

7.一种目标图形获取装置,其特征在于,所述装置包括:信息获取单元,用于获取原始图形的参数,其中,所述原始图形中包括多个图形条,所述原始图形的参数包括每个图形条的宽度及相邻两个图形条之间的间距;

目标区域确定单元,用于依据所述每个图形条的宽度及相邻两个图形条之间的间距对所述图形进行分区,并确定目标区域;

散射条控制单元,用于在掩膜板与目标区域对应的位置增设散射条,以通过所述掩膜板在晶圆上刻蚀出目标图形,其中,所述目标图形与所述原始图形相同。

8.如权利要求7所述的目标图形获取装置,其特征在于,所述目标区域确定单元还用于当所述图形条的宽度处于预设的第一区间,且相邻两个图形条之间的间距处于第二区间时,确定所述图形条所处的区域为非目标区域;

当所述图形条的宽度处于预设的第一区间,且相邻两个图形条之间的间距处于第三区间时,确定所述图形条所处的区域为目标区域;

当所述图形条的宽度处于预设的第四区间,且相邻两个图形条之间的间距处于第五区间时,确定所述图形条所处的区域为非目标区域;

当所述图形条的宽度处于预设的第四区间,且相邻两个图形条之间的间距处于第五区间时,确定所述图形条所处的区域为目标区域;

当所述图形条的宽度处于预设的第六区间时,确定所述图形条所处的区域为非目标区域。

9.一种电子设备,其特征在于,包括:存储器,用于存储一个或多个程序;

处理器;

当所述一个或多个程序被所述处理器执行时,实现如权利要求1‑6中任一项所述的目标图形获取方法。

10.一种计算机可读存储介质,其上存储有计算机程序,其特征在于,该计算机程序被处理器执行时实现如权利要求1‑6中任一项所述的目标图形获取方法。