欢迎来到知嘟嘟! 联系电话:13095918853 卖家免费入驻,海量在线求购! 卖家免费入驻,海量在线求购!
知嘟嘟
我要发布
联系电话:13095918853
知嘟嘟经纪人
收藏
专利号: 2021101227173
申请人: 杭州电子科技大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
价格&联系人
年费信息
委托购买

摘要:

权利要求书:

1.一种金掺杂氮化硼薄膜的制备方法,其特征在于,具体包括以下步骤:步骤(1).将衬底通过热蒸发法在其表面沉积100‑500nm厚度的金薄膜;

步骤(2).将基底用盐酸、去离子水清洗后氮气吹干,放入石英管中,并置于石英管的一端,其正下方放置步骤(1)的产物,基底与金薄膜之间相距500nm‑1mm;

步骤(3).将氨硼烷,装入石英管中,并置于石英管的另一端,氨硼烷与基底之间距离

10‑25cm;

步骤(4).将步骤(3)的石英管两端密封,并抽真空;

步骤(5).将步骤(4)石英管放入管式电炉中,升温至900~1050℃,升温速率为20~30℃/min;温度升至900~1050℃后保温,保温时间为30~120min;

步骤(6).管式电炉、石英管停止加热,开启管式炉,将石英管室温环境下快速冷却到室温,然后取出基底,在基底上获得金掺杂的h‑BN薄膜。

2.根据权利要求1所述的一种金掺杂氮化硼薄膜的制备方法,其特征在于:所述的石英管直径为2cm。

3.根据权利要求1所述的一种金掺杂氮化硼薄膜的制备方法,其特征在于:所述衬底为硅片、石英玻璃。

4.根据权利要求1所述的一种金掺杂氮化硼薄膜的制备方法,其特征在于:所述基底为铜片、镍片、硅片。

5.根据权利要求1所述的一种金掺杂氮化硼薄膜的制备方法,其特征在于:所述的基底尺寸为0.5~1.0cm×0.5~1.0cm。

6.根据权利要求1所述的一种金掺杂氮化硼薄膜的制备方法,其特征在于:所述的衬底尺寸为1.0cm×1.0cm。

7.根据权利要求1所述的一种金掺杂氮化硼薄膜的制备方法,其特征在于:所述的步骤(1)中的金薄膜替换为银薄膜。