1.一种芯片夹具，其特征在于，包括支撑平台以及设置在所述支撑平台上的多个卡盘，多个所述卡盘围合形成了芯片的固定空间，所述芯片的边缘同时与多个所述卡盘的侧壁接触以固定在所述固定空间内，所述芯片与所述支撑平台之间存在间隙；

所述卡盘的侧壁仅在与所述间隙对应的位置上设有导流槽，所述导流槽由所述卡盘侧壁的内侧向所述卡盘侧壁的外侧延伸，所述导流槽靠近所述内侧的一侧高于或等于所述导流槽靠近所述外侧的一侧。

2.根据权利要求1所述的芯片夹具，其特征在于，所述导流槽呈环状，环状的所述导流槽环绕所述卡盘的侧壁设置。

3.根据权利要求1所述的芯片夹具，其特征在于，所述卡盘具有弧形部，多个所述弧形部朝向所述固定空间设置。

4.根据权利要求3所述的芯片夹具，其特征在于，所述卡盘呈圆柱状，圆柱状的所述卡盘的轴线垂直于所述支撑平台。

5.根据权利要求3所述的芯片夹具，其特征在于，所述卡盘呈圆台状，包括相互平行的第一底面和第二底面，所述第一底面小于所述第二底面，所述第二底面与所述支撑平台贴合连接。

6.根据权利要求1所述的芯片夹具，其特征在于，所述卡盘呈棱柱状，棱柱状的所述卡盘的一个侧壁朝向所述固定空间设置。

7.根据权利要求1所述的芯片夹具，其特征在于，所述卡盘与所述支撑平台滑动连接，并沿过所述支撑平台中心的直线移动。

8.一种芯片清洗装置，其特征在于，包括如权利要求1至7中任意一项所述的芯片夹具。

9.一种芯片刻蚀装置，其特征在于，包括如权利要求1至7中任意一项所述的芯片夹具。