1.一种耐高腐蚀的复合压电陶瓷材料的制备方法,其特征在于:包括以下步骤:
(1)称量组分:将原料BaCO3、TiO2 、MgO、Sb2O5和In2O3,按化学计量比Ba1‑x MgxTi1‑ 2y SbyInyO3进行称量;其中x为3 mol%,y为3 mol%;
(2)初步成型:将各组分所述原料混合后进行一次球磨、烘干、一次烧结,得到预烧结的压电陶瓷粉体;将预烧结后的压电陶瓷粉体进行二次球磨、烘干,再加入粘合剂研磨造粒、挤压成型、排胶、二次烧结,得到压电陶瓷;
(3)极化处理:将初步成型的压电陶瓷上下表面分别锡焊一层金属锡,压实后再磁控溅射一层银电极,并在85 ℃的油中极化30 min,极化电场为4000 V/mm,最终得到所述耐高腐蚀的复合压电陶瓷材料;
所述一次球磨和二次球磨的时间分别为14h、8h,转速均为450r/min,球磨介质均为水和玛瑙球;以上所述烘干温度均为80 ℃,时间为6 h;所述一次烧结是以90 ℃/h的升温速率升温至900 ℃,保温4 h;所述粘合剂为浓度为8wt%的PVA水溶液;所述挤压成型的压强为
140 MPa ;所述排胶是以50 ℃/h的升温速率升温至500℃,并保温60 min;所述二次烧结是以115 ℃/h的升温速率升温至1300 ℃,保温130 min。