1.一种LSPR多波长窄带可调谐传感器,其特征是:从下到上依次为硅衬底、SiO2膜、Al2O3膜、石墨烯薄膜,石墨烯薄膜上具有E字形金纳米颗粒周期排列。
2.根据权利要求1所述的LSPR多波长窄带可调谐传感器,其特征是:硅衬底上覆盖的SiO2层厚度为T2=1600nm。
3.根据权利要求1所述的LSPR多波长窄带可调谐传感器,其特征是:SiO2上覆盖的氧化铝(aluminium oxide,Al2O3)厚度为T1=2200nm。
4.根据权利要求1所述的LSPR多波长窄带可调谐传感器,其特征是:石墨烯固定在Al2O3上,其上E字形金纳米颗粒周期排列,周期P为1500nm。
5.根据权利要求1或4所述的LSPR多波长窄带可调谐传感器,其特征是:纳米颗粒长度t1=600nm,宽度t2=120nm,开口宽度t3=440nm,厚度h=30nm。
6.根据权利要求1所述的LSPR多波长窄带可调谐传感器,其特征是:光垂直于基底平面入射,在波段2000~3000nm内,实现了多波长窄带反射/吸收谱,其中在2290nm处和2500nm处,共振带宽为30nm和10nm。
7.根据权利要求1所述的LSPR多波长窄带可调谐传感器,其特征是:载流子浓度从1×
13 ‑2 13 ‑2
10 cm 到9×10 cm ,反射谱蓝移变窄。
8.根据权利要求1所述的LSPR多波长窄带可调谐传感器,其特征是:外部环境折射率增大时,共振波长红移,各共振峰传感广义品质因数FOM*最高为6401。