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专利号: 2021102480836
申请人: 天津理工大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 测量;测试
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种LSPR多波长窄带可调谐传感器,其特征是:从下到上依次为硅衬底、SiO2膜、Al2O3膜、石墨烯薄膜,石墨烯薄膜上具有E字形金纳米颗粒周期排列。

2.根据权利要求1所述的LSPR多波长窄带可调谐传感器,其特征是:硅衬底上覆盖的SiO2层厚度为T2=1600nm。

3.根据权利要求1所述的LSPR多波长窄带可调谐传感器,其特征是:SiO2上覆盖的氧化铝(aluminium oxide,Al2O3)厚度为T1=2200nm。

4.根据权利要求1所述的LSPR多波长窄带可调谐传感器,其特征是:石墨烯固定在Al2O3上,其上E字形金纳米颗粒周期排列,周期P为1500nm。

5.根据权利要求1或4所述的LSPR多波长窄带可调谐传感器,其特征是:纳米颗粒长度t1=600nm,宽度t2=120nm,开口宽度t3=440nm,厚度h=30nm。

6.根据权利要求1所述的LSPR多波长窄带可调谐传感器,其特征是:光垂直于基底平面入射,在波段2000~3000nm内,实现了多波长窄带反射/吸收谱,其中在2290nm处和2500nm处,共振带宽为30nm和10nm。

7.根据权利要求1所述的LSPR多波长窄带可调谐传感器,其特征是:载流子浓度从1×

13 ‑2 13 ‑2

10 cm 到9×10 cm ,反射谱蓝移变窄。

8.根据权利要求1所述的LSPR多波长窄带可调谐传感器,其特征是:外部环境折射率增大时,共振波长红移,各共振峰传感广义品质因数FOM*最高为6401。