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专利号: 2021103273091
申请人: 洛阳理工学院
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
专利领域: 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕
更新日期:2024-02-28
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种柔性线材镀膜用磁控溅射装置,包括放辊部(10)、镀膜部(11)以及收辊部(12),放辊部(10)、镀膜部(11)以及收辊部(12)的内部腔体相互贯通并通过真空泵(13)形成真空环境,放辊部(10)内设置有用于柔性线材放卷的放线辊(14),收辊部(12)内设置有用于柔性线材收卷的收线辊(15),收线辊(15)可拆卸套设在驱动轴(16)上,驱动轴(16)的一端伸出收辊部(12)与驱动电机(24)传动连接,其特征在于:所述镀膜部(11)内环绕柔性线材的移动方向设置有至少2个磁控溅射阴极;

所述磁控溅射阴极包括极壳(4)以及设置在极壳(4)内的弧形靶材(5)、水冷背板(6)、外磁轭(7)、内磁轭(8)、底磁轭(9)以及磁体部件;

所述磁体部件包括外磁体(1)、内磁体(2)以及N个辅磁体(3),所述外磁体(1)和内磁体(2)均为环形结构,内磁体(2)位于外磁体(1)内部且两者的安装极性相反,所述N个辅磁体(3)设置在外磁体(1)和内磁体(2)之间的环隙内,或设置在内磁体(2)内部,或分布在外磁体(1)和内磁体(2)之间的环隙内以及内磁体(2)内部,所述外磁体(1)和内磁体(2)为永磁铁,辅磁体(3)为电磁铁;

所述外磁轭(7)和内磁轭(8)设置在底磁轭(9)上,并分别位于外磁体(1)和内磁体(2)下方,水冷背板(6)设置在极壳(4)的开口处,弧形靶材(5)紧密贴设在水冷背板(6)的上端面,并通过电源线连接至阴极电源,辅磁体(3)设置在底磁轭(9)上并通过电源线连接至电磁铁电源;

每个磁控溅射阴极的辅磁体(3)电源线分别连接至第一触头(17)和第二触头(18),所述驱动轴(16)传动连接有转盘(19),转盘(19)上设置有可导通第一触头(17)和第二触头(18)的导电件,转盘(19)转动过程中,导电件与第一触头(17)和第二触头(18)之间的位置关系间歇性变化,使得第一触头(17)与第二触头(18)之间形成间歇性导通,最终实现辅磁体(3)的间歇性供电。

2.如权利要求1所述柔性线材镀膜用磁控溅射装置,其特征在于:所述N为≥2的偶数。

3.如权利要求1所述柔性线材镀膜用磁控溅射装置,其特征在于:所述外磁体(1)和内磁体(2)均为跑道型结构,外磁体(1)和内磁体(2)的上表面为弧面。

4.如权利要求1所述柔性线材镀膜用磁控溅射装置,其特征在于:所述转盘(19)包括底盘(20)以及固定在底盘(20)上的环带(21),环带(21)垂直固定在底盘(20)上,环带(21)的内壁沿其圆周方向分布有多个导电金属条(22),所述第一触头(17)和第二触头(18)设置在触头壳(23)上,驱动轴(16)穿过触头壳(23)设置,触头壳(23)位于环带(21)内且不会碎驱动轴(16)一同转动,第一触头(17)和第二触头(18)均为弹性触头,其触头端由触头壳(23)的外壁伸出,且两个触头的头端间距小于导电金属条(22)的长度,转盘(19)与触头壳(23)安装后,第一触头(17)和第二触头(18)均处于压缩状态。

5.如权利要求1所述柔性线材镀膜用磁控溅射装置,其特征在于:所述转盘(19)包括底盘(20)以及固定在底盘(20)上的环带(21),环带(21)垂直固定在底盘(20)上,环带(21)的外壁沿其圆周方向分布有多个导电金属条(22),所述第一触头(17)和第二触头(18)设置在触头壳(23)上,驱动轴(16)穿过触头壳(23)设置,触头壳(23)套设在环带(21)外部且不会碎驱动轴(16)一同转动,第一触头(17)和第二触头(18)均为弹性触头,其触头端由触头壳(23)的内壁伸出,且两个触头的头端间距小于导电金属条(22)的长度,转盘(19)与触头壳(23)安装后,第一触头(17)和第二触头(18)均处于压缩状态。

6.如权利要求4或5所述柔性线材镀膜用磁控溅射装置,其特征在于:所述转盘(19)通过其中心固定套设在驱动轴(16)上。

7.如权利要求4或5所述柔性线材镀膜用磁控溅射装置,其特征在于:所述转盘(19)通过变速箱与驱动轴(16)传动连接。

8.如权利要求4或5所述柔性线材镀膜用磁控溅射装置,其特征在于:所述环带(21)由两个半圆带对接构成,半圆带可拆卸固定在底盘(20)上。