1.一种柔性铰链,其特征在于,包括第一连接件和第二连接件,第一连接件和第二连接件之间设有扭簧,所述扭簧由中心向两端的直径逐渐减小,所述扭簧两端通过第一扭臂与第一连接件连接,扭簧中心位置通过第二扭臂与第二连接件连接。
2.如权利要求1所述的柔性铰链,其特征在于,所述扭簧包括对称设置的第一扭簧部和第二扭簧部,第一扭簧部和第二扭簧部均为变径扭簧,第一扭簧部和第二扭簧部直径较大的端部与第一扭臂固定,直径较小的端部与第二扭臂固定。
3.如权利要求1所述的柔性铰链,其特征在于,所述扭簧设置多组。
4.如权利要求3所述的柔性铰链,其特征在于,多组扭簧同轴设置。
5.如权利要求3所述的柔性铰链,其特征在于,相邻扭簧相互靠近的端部与同一个第一扭臂固定连接。
6.如权利要求1所述的柔性铰链,其特征在于,所述第一连接件与第一扭臂采用一体式连接,第二连接件与第二扭臂采用一体式连接,第一扭臂、第二扭臂与扭簧采用一体式连接。
7.如权利要求6所述的柔性铰链,其特征在于,所述柔性铰链采用3D打印工艺制作而成。
8.如权利要求7所述的柔性铰链,其特征在于,所述柔性铰链采用光敏树脂或铝合金材料制成。
9.如权利要求1所述的柔性铰链,其特征在于,所述扭簧的截面为矩形,相应的,所述第一扭臂和第二扭臂为截面为矩形的板状结构。
10.一种权利要求1‑9任一项所述的柔性铰链在微机电设备的应用,其特征在于,所述第一连接件与微机电设备的固定部件连接,所述第二连接件与微机电设备的运动部件连接。