1.一种柔性薄膜温度传感器检测系统,包括本体(300)、控制系统(100)、供气系统、测试模板(500),其特征在于:
所述本体(300)包括基座(301),所述基座(301)上表面为平面结构,所述基座(301)的顶部设有上盖(302),所述上盖(302)的内部为空腔结构,所述上盖(302)的空腔区域内固定安装有腔室温度传感器(303),所述上盖(302)的内部设有自上而下贯穿上盖(302)的导气孔(304),所述导气孔(304)设于腔室温度传感器(303)内侧,且导气孔(304)设有两组,一组用于进气,另一组用于出气;
所述测试模板(500)安装于上盖(302)与基座(301)之间的空腔结构内,所述测试模板(500)包括双层式的柔性薄膜层,所述柔性薄膜层包括第一柔性薄膜层(501)、第二柔性薄膜层(502),所述第一柔性薄膜层(501)设于第二柔性薄膜层(502)底部,所述第一柔性薄膜层(501)为整版柔性薄膜材料,所述第二柔性薄膜层(502)为设有孔洞的柔性薄膜材料,所述第二柔性薄膜层(502)的开孔处设有导电触点(506),所述导电触点(506)后端延伸有导线(505),所述导电的末端连接有接线排(504),所述第一柔性薄膜层(501)、第二柔性薄膜层(502)的表面设有自上而下的通孔(503),所述通孔(503)设于导线(505)两侧;
所述本体(300)与供气系统连接;
所述控制系统(100)与本体(300)连接;
所述本体(300)上安装有真空泵(600),所述基座(301)的表面均布有吸附孔,所述吸附孔与测试模板(500)上的通孔(503)一一对应,所述真空泵(600)的管路安装在吸附孔与通孔(503)的位置处。
2.根据权利要求1所述的一种柔性薄膜温度传感器检测系统,其特征在于:所述柔性薄膜层上均布有柔性薄膜温度传感器(400),所述柔性薄膜温度传感器(400)包括传感器探头(401)、接头(402),所述接头(402)固定连接于传感器探头(401)底侧,所述传感器探头(401)为温度敏感材料制作,所述接头(402)与导电触电接触对应连接。
3.根据权利要求2所述的一种柔性薄膜温度传感器检测系统,其特征在于:所述供气系统包括热交换器(200)、加热器(201)、制冷机(202)、电气比例阀(203),所述热交换器(200)与本体(300)上的导气孔(304)连接,所述热交换器与加热器(201)、制冷机(202)连接,所述电气比例阀(203)分别安装于热交换器(200)与加热器(201)、热交换器(200)与制冷机(202)的连接管路之间,以调节加热器(201)、制冷机(202)进入热交换器(200)中的气量。