1.小型真空光电测试系统,其特征在于,包括:真空机构;所述真空机构包括真空罩(1),以及固定在所述真空罩(1)内的平台底座(19);所述真空罩(1)内固定有支撑架;
加热机构;所述加热机构包括固定在所述平台底座(19)上的半导体加热片(18),以及固定在所述半导体加热片(18)上的金属平台(16);还包括位于所述真空罩(1)外部,并用于控制所述半导体加热片(18)温度调节的温控组件;
激光激发机构;所述激光激发机构用于向所述金属平台(16)上的待测样品发射激光,并连接在所述支撑架上;
性能测量机构;所述性能测量机构与所述待测样品电性连接,用于在不同光辐照条件下进行电学信号的采集,完成所述待测样品的光电性能测试。
2.根据权利要求1所述的小型真空光电测试系统,其特征在于,所述真空罩(1)连接有真空泵(27)。
3.根据权利要求1所述的小型真空光电测试系统,其特征在于,所述金属平台(16)上安装有温度传感器(17)。
4.根据权利要求3所述的小型真空光电测试系统,其特征在于,所述温控组件包括第一过真空航空插头(20)、温控表(22)、固态继电器(21)和直流变压器(23);所述第一过真空航空插头(20)固定在所述真空罩(1)的侧壁上;所述温控表(22)通过第一过真空航空插头(20)与所述温度传感器(17)电性连接;所述固态继电器(21)的输出电路通过所述第一过真空航空插头(20)与所述半导体加热片(18)电性连接,所述固态继电器(21)与所述温控表(22)电性连接;所述直流变压器(23)与所述固态继电器(21)的输入电路电性连接。
5.根据权利要求1所述的小型真空光电测试系统,其特征在于,所述激光激发机构包括第一过真空光纤接口(3)、光扩束器(6)、LED激光器(25)和数字电源表(24);所述第一过真空光纤接口(3)固定在所述真空罩(1)的侧壁上;所述光扩束器(6)固定在所述支撑架上,且通过第一光纤(2)与所述第一过真空光纤接口(3)连接;所述LED激光器(25)位于所述真空罩(1)外部,且通过第二光纤(26)与所述第一过真空光纤接口(3)连接;所述数字电源表(24)与所述LED激光器(25)电性连接。
6.根据权利要求1所述的小型真空光电测试系统,其特征在于,所述性能测量机构包括第二过真空航空插头(12)、电信号数据采集线(28)和数字源表(13);所述第二过真空航空插头(12)固定在所述真空罩(1)的侧壁上;所述电信号数据采集线(28)一端与所述第二过真空航空插头(12)电性连接,另一端通过连接器(11)与所述待测样品连接;所述数字源表(13)位于所述真空罩(1)外部,且与所述第二过真空航空插头(12)电性连接。
7.根据权利要求6所述的小型真空光电测试系统,其特征在于,所述数字源表(13)能够进行所述待测样品的精密四端法电学性能的测量。
8.根据权利要求1‑7中任一项所述的小型真空光电测试系统,其特征在于,还包括光信号采集机构;所述光信号采集机构用于将受到光辐照的所述待测样品产生光的散射或荧光的激发信号进行采集,并连接在所述支撑架上。
9.根据权利要求8所述的小型真空光电测试系统,其特征在于,所述光信号采集机构包括第二过真空光纤接口(10)、光集束器(7)和光谱仪(15);所述第二过真空光纤接口(10)固定在所述真空罩(1)的侧壁上;所述光集束器(7)固定在所述支撑架上,且通过第三光纤(8)与所述第二过真空光纤接口(10)连接;所述光谱仪(15)位于所述真空罩(1)外部,且通过第四光纤(14)与所述第二过真空光纤接口(10)连接。
10.根据权利要求1所述的小型真空光电测试系统,其特征在于,所述支撑架包括第一立杆(4)和第二立杆(9),以及固定在所述第一立杆(4)和所述第二立杆(9)之间的横梁(5)。