1.一种Ag/MoSe2‑PMMA/Cu阻变存储器,其特征在于:从下至上依次包括衬底,底电极,MoSe2‑PMMA复合薄膜和顶电极,所述衬底为玻璃衬底,所述底电极为Ag,所述顶电极为Cu。
2.根据权利要求1所述的一种Ag/MoSe2‑PMMA/Cu阻变存储器,其特征在于:所述底电极的厚度为100 300nm。
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3.根据权利要求1所述的一种Ag/MoSe2‑PMMA/Cu阻变存储器,其特征在于:所述顶电极的厚度为100 300nm,直径250μm。
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4.一种Ag/MoSe2‑PMMA/Cu阻变存储器的制备方法,其特征在于:依次包括以下步骤:
步骤一:将硒粉加入到水合肼中搅拌至血红色,取钼酸钠溶解在去离子水中,将上述两种溶液混合后装进反应釜内;
步骤二:维持反应釜温度180 210℃,进行水热反应36 56h;
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步骤三:反应结束后,将产物用氢氧化钠、乙醇、去离子水分别清洗,然后恒温80℃烘干,得到产物MoSe2;
步骤四:称取步骤三制得的1~2 g MoSe2加入10~20 ml的N‑N二甲基甲酰胺中,采用超声法制备MoSe2悬浮液;
步骤五:采用真空蒸发镀膜法在清洗后的玻璃衬底上蒸镀厚度为100 300nm的Ag底电~
极;
步骤六:将步骤四制得的MoSe2悬浮液采用真空抽滤法在底电极上制备MoSe2薄膜, 并采用旋转涂胶法在MoSe2薄膜表面旋涂一层PMMA;
步骤七:在PMMA薄膜上表面真空蒸镀直径250μm、厚度100 300nm的Cu作为顶电极。
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5.根据权利要求4所述的一种Ag/MoSe2‑PMMA/Cu阻变存储器的制备方法,其特征在于:步骤一中,所述硒粉与钼酸钠的摩尔比为1:1,水合肼和去离子水的体积比为1:1。
6.根据权利要求4所述的一种Ag/MoSe2‑PMMA/Cu阻变存储器的制备方法,其特征在于:步骤四中,所述超声法的时间为1 4h,超声功率为150 250 W。
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7.根据权利要求4所述的一种Ag/MoSe2‑PMMA/Cu阻变存储器的制备方法,其特征在于:‑4
步骤五中,所述真空蒸镀的条件为:蒸镀速率为1 2Å/s、本底真空小于5´10 Pa、蒸镀~
功率为130 160 w。
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8.根据权利要求4所述的一种Ag/MoSe2‑PMMA/Cu阻变存储器的制备方法,其特征在于:步骤六中,所述MoSe2悬浮液体积为0.5~3ml,所述旋转涂胶法的转速为4000 rpm ~
8000 rpm,旋涂时间为60 120 s。
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9.根据权利要求4所述的一种Ag/MoSe2‑PMMA/Cu阻变存储器的制备方法,其特征在于:‑4
步骤七中,所述真空蒸镀的条件为:蒸镀速率为1 2Å/s、本底真空小于5´10 Pa、蒸镀~
功率为160 190 W。
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