欢迎来到知嘟嘟! 联系电话:13095918853 卖家免费入驻,海量在线求购! 卖家免费入驻,海量在线求购!
知嘟嘟
我要发布
联系电话:13095918853
知嘟嘟经纪人
收藏
专利号: 2021104115752
申请人: 西安工业大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
价格&联系人
年费信息
委托购买

摘要:

权利要求书:

1.一种Ag/MoSe2‑PMMA/Cu阻变存储器,其特征在于:从下至上依次包括衬底,底电极,MoSe2‑PMMA复合薄膜和顶电极,所述衬底为玻璃衬底,所述底电极为Ag,所述顶电极为Cu。

2.根据权利要求1所述的一种Ag/MoSe2‑PMMA/Cu阻变存储器,其特征在于:所述底电极的厚度为100 300nm。

~

3.根据权利要求1所述的一种Ag/MoSe2‑PMMA/Cu阻变存储器,其特征在于:所述顶电极的厚度为100 300nm,直径250μm。

~

4.一种Ag/MoSe2‑PMMA/Cu阻变存储器的制备方法,其特征在于:依次包括以下步骤:

步骤一:将硒粉加入到水合肼中搅拌至血红色,取钼酸钠溶解在去离子水中,将上述两种溶液混合后装进反应釜内;

步骤二:维持反应釜温度180 210℃,进行水热反应36 56h;

~ ~

步骤三:反应结束后,将产物用氢氧化钠、乙醇、去离子水分别清洗,然后恒温80℃烘干,得到产物MoSe2;

步骤四:称取步骤三制得的1~2 g MoSe2加入10~20 ml的N‑N二甲基甲酰胺中,采用超声法制备MoSe2悬浮液;

步骤五:采用真空蒸发镀膜法在清洗后的玻璃衬底上蒸镀厚度为100 300nm的Ag底电~

极;

步骤六:将步骤四制得的MoSe2悬浮液采用真空抽滤法在底电极上制备MoSe2薄膜, 并采用旋转涂胶法在MoSe2薄膜表面旋涂一层PMMA;

步骤七:在PMMA薄膜上表面真空蒸镀直径250μm、厚度100 300nm的Cu作为顶电极。

~

5.根据权利要求4所述的一种Ag/MoSe2‑PMMA/Cu阻变存储器的制备方法,其特征在于:步骤一中,所述硒粉与钼酸钠的摩尔比为1:1,水合肼和去离子水的体积比为1:1。

6.根据权利要求4所述的一种Ag/MoSe2‑PMMA/Cu阻变存储器的制备方法,其特征在于:步骤四中,所述超声法的时间为1 4h,超声功率为150 250 W。

~ ~

7.根据权利要求4所述的一种Ag/MoSe2‑PMMA/Cu阻变存储器的制备方法,其特征在于:‑4 

步骤五中,所述真空蒸镀的条件为:蒸镀速率为1 2Å/s、本底真空小于5´10 Pa、蒸镀~

功率为130 160 w。

~

8.根据权利要求4所述的一种Ag/MoSe2‑PMMA/Cu阻变存储器的制备方法,其特征在于:步骤六中,所述MoSe2悬浮液体积为0.5~3ml,所述旋转涂胶法的转速为4000 rpm ~ 

8000 rpm,旋涂时间为60  120 s。

~

9.根据权利要求4所述的一种Ag/MoSe2‑PMMA/Cu阻变存储器的制备方法,其特征在于:‑4 

步骤七中,所述真空蒸镀的条件为:蒸镀速率为1 2Å/s、本底真空小于5´10 Pa、蒸镀~

功率为160 190 W。

~