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专利号: 2021104240822
申请人: 安徽工业大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2024-01-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.氨解法制备高纯氮化硅粉体方法,其特征在于,包括以下步骤:

1、氮化硅前驱体制备

1.1、向反应容器中加入溶剂和四氯化硅,控制容器中的温度为-25~‑35℃,容器内的压强为当前温度氨气刚开始液化的值;

1.2、向溶剂中融入液氨,并减小容器中的压强,使得液氨气化沸腾,扰动整个反应体系,获得氮化硅前驱体;

1.3、将氨气收集加压液化,再次通入溶剂中,实现氨气循环;

2、前驱体焙烧

2.1、将获得氮化硅前驱体进行灼烧,灼烧产生的气体收集净化处理;

2.2、灼烧后的氮化硅前驱体进行破碎处理;

2.3、破碎后的氮化硅前驱体进行焙烧处理,获得氮化硅粉体。

2.根据权利要求1所述的氨解法制备高纯氮化硅粉体方法,其特征在于:所述溶剂的种类为二氯乙烷、己烷,且两者摩尔质量配比任意,所述溶剂和四氯化硅之间的摩尔配比任意。

3.根据权利要求1所述的氨解法制备高纯氮化硅粉体方法,其特征在于:所述液氨通入的速度为1~5L/min,所述液氨气化速度为0.8~4.5L/min。

4.根据权利要求1所述的氨解法制备高纯氮化硅粉体方法,其特征在于:所述灼烧温度控制为120~180℃,时间为30min。

5.根据权利要求1所述的氨解法制备高纯氮化硅粉体方法,其特征在于:所述焙烧温度控制为800~1200℃,时间为60min。

6.根据权利要求1所述的氨解法制备高纯氮化硅粉体方法,其特征在于:所述灼烧和焙烧均通入保护气体,所述保护气体为氮气、氦气或氩气中的一种。